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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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UV조사장치 - UV irradiation equipment

다이를 쉽게 픽업(pickup)하기 위하여. 자외선을 쏘아 웨이퍼 시트의 접착력을 저하시키는 장치.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
pH조정장치 - pH control equipment

폐수를 처리하는 과정으로 목적에 대응하는 산․알칼리를 주입하여 일정의 pH를 조정하는 장치. 교반설비, 약품주입설비, pH제어설비 등으로 구성된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
F - θ렌즈 - F - θ lens

폴리곤미러(polygon mirror)에서 발생하는 레이저빔 등이 등속원운동하는 것을 직선등속운동으로 바꾸어주는 렌즈군(群) 초점거리:f 레이저의 편형각:θ일 경우점상(点像)의 높이:h를 h=fθ가 되도록 왜곡수차를 준 렌즈군(群)에 의해 h가 등속운동하게 된다. 보통, 일반렌즈에서는 h=f×tanθ가 되어등속운동이 되지 않는다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
RF형 가속기 RFQ형 가속기 - radio frequency linac(linear accelerator) radio frequency quadrapole accelerator

이온원에서 인출한 이온을 고주파를 이용하여 가속하는 방식의 이온주입장치. 대지전위의 짧은 빔램프 중에서, 비교적 낮은 전압의 RF로 여러 번 반복한 이온을 가속하여 MeV급의 고에너지 이온을 생성한다. 여러 개의 RF공동(cavity)을 직렬로 배치한 RF선형가속방식과 하나의 4중극(重極) 중에서 이온의 가속과 수속(收束)을 되풀이한 RFQ형이 있다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
컨버젼키트 - conversion kits

가공제품의 품종 변환(단계 변환)을 위한 유니트와 부품, 치구 등.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
TTL 정렬 - through - the - lens alignment

투영광학계를 매개로 웨이퍼 위에 정렬 마스크를 계측하면서 정렬하는 것. 투영광학계의 오차를 제거할 수 있다는 이점이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
테이블 - table

공작물을 직접 고정하거나 각종 설치장치를 이용하여 고정하는 대. 일반적으로 안내면 위를 이동시켜 공작물에 송출하거나 절삭한다. 척테이블이라고도 한다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
트라이어드형 RIE장치 - triode reactive ion etching system

웨이퍼를 놓은 한 쌍의 전극과는 별개로 제 3전극을 식각실내에 설치하여, 이 제 3전극의 전위를 독립적으로 제어하여, 식각특성을 제어하는 반응성이온 식각장치. 제 3전극은 부유전위로 하는 경우와 직류전압 또는 고주파전압을 인가하는 경우가 있다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
Sato 에칭 - Sato etching

실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것의 조성은 HF:HNO:CH3COOH:H2O=1:15:3:1의 약품으로, Wright 에칭액과 같은 식각특성을 갖고, 환경대책으로써, 크롬을 포함하지 않는 조성을 갖는다.

반/디 용어집 검사 표면 결함․이물검출

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

UV조사장치 - UV irradiation equipment

pH조정장치 - pH control equipment

F - θ렌즈 - F - θ lens

RF형 가속기 RFQ형 가속기 - radio frequency linac(linear accelerator) radio frequency quadrapole accelerator

컨버젼키트 - conversion kits

TTL 정렬 - through - the - lens alignment

테이블 - table

트라이어드형 RIE장치 - triode reactive ion etching system

Sato 에칭 - Sato etching

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