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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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주광전 - main discharge

TEA CO2 레이저의 주요한 여기수단. 스파크갭 또는 사이라트론으로 방전을 트리거(trigger)하고, 예비방전을 유기하며, 레이전공진기 내에 레이저발진에 필요한 주 방전여기가 되는 글로우방전을 일으킨다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
필렛 - fillet

다이와 패키지를 접합시킨 후에 수지 등이 접합된 다이주변으로 흘러나오는 것.

반/디 용어집 필렛 FILLET
폐쇄시스템 - closed system

공장의 유즈포인트에서 배출되는 배수의 전부를 회수처리하여, 공정의 방류수가 없는 배수순환재이용시스템. 배수중의 오염물질 등은, 이온교환장치, 역침투장치, 증기농축장치 등으로 농축시키고, 농축액은 고형물로 하여 처리한다

반/디 용어집 설비․환경공정 물
저항가열법 - resistance heating method

탄소(carbon), 금속 등 전류를 통하는 전기전도체를 사용하여 가열체를 형성하고, 이 가열체에 직류 및 교류를 흘려주어 가열하는 방법.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
진공탈기탑 - vaccum degasifier

수중의 용재가스를 제거하는 설비. 진공 분위기하에서 물을 스프레이하여 실시한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
프리차지 - precharge

DRAM의 경우, 피측정디바이스의 캐패시터에 전원을 인가하여 전하가 모두 충전되어 전압이 안정될 때까지 시간을 단축하기 위해, 미리 피측정디바이스 주변회로의 캐패시터에 충전시키는 것.

반/디 용어집 사공정 디버그
표준입자발생기 - standard particle generator

입자계수기(particle counter)을 교정하기 위해, 소정의 입자직경의 입자를 일정량 발생시키는 장치. 가스분야에는, 보통 입자직경분포가 명확한 폴리스틸렌라텍스를 용매 중에 분산시키고, 캐리어가스를 흘려주어, 미립자를 단분해하여 발생시킨다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
특수고압가스 - specified high pressure gas

특수재료가스의 경우, 자연발화성, 분해폭발성 혹은 독성이 있어 특히 위험한 성질을 갖는 알신, 디실란, 디란, 셀란화수소, 포스핀, 모노겔만, 모노실란 등의 가스

반/디 용어집 설비․환경공정 물
환경제어형주사전자현미경 - environmental scanning electron microscope

시료실을 저진공 10～2700Pa로 제어하고, 전자빔을 시료 위를 주사하여, 시료에 의해 발생하는 이차전자를 검출한 표면모양을 관찰기록하는 전자현미경.

반/디 용어집 물성검사장치 검사

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

주광전 - main discharge

필렛 - fillet

폐쇄시스템 - closed system

저항가열법 - resistance heating method

진공탈기탑 - vaccum degasifier

프리차지 - precharge

표준입자발생기 - standard particle generator

특수고압가스 - specified high pressure gas

환경제어형주사전자현미경 - environmental scanning electron microscope

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