반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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최대충전량 - charge size crucible capacity

재료를 녹일 때, 용융액이 쵸그랄스키 성장장치에 설치할 수 있는 가장 큰 도가니의 전체용적의 70%를 차지하는 충전용량.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
M알칼리도 산소비량 (pH4.8) - M - alkalinity alkalinity (pH4.8)

메틸오렌지 지시약 또는 메틸오렌지 혼합지시약에 의해, pH4.8까지의 수소이온(OH-) 탄소이온(CO32-), 중탄소이온(HCO3-)등으로 되는 산소비량을 탄산칼슘(CaCO3) 환산한 mg/l 로 표시한 수치. 통상의 자연수의 경우 HCO3-량을 말한다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
진공큐어링 - vacuum curing

전자빔 묘화 후의 네거티브 레지스터의 후중합(後重合)효과를 균일하게 하기 위해, 장치 안을 진공으로 유지시키고 그속에 묘화한 기판을 나두는 것.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
특수재료가스용입자계수기 - special gases particle counter

특수재료가스중에 포함된 미립자의 입자직경와 입자수를 계측하는 계기. 흐르는 특수재료가스에 레이저광을 쏘아, 특수재료가스 중의 미립자의 산란광을 검출하는 방식이 이용된다. 특수재료가스의 독성과 발화성에 대응하기 때문에, 링크타이트구조로 되어 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
표준패턴 비교법 - standard pattern comparision

검사하려는 마스크의 패턴을 미리 준비한 표준 마스크의 패턴과 비교하여, 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사법

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
테스트박스 어플리케이션박스 - test box application box

피측정디바이스 고유의 주변회로와 피측정디바이스에 가깝게 배치되어야 하는 신호계, 측정계 혹은 제어계를 포함하고 있는 장치.

반/디 용어집 사공정 디버그
층간지로더 - inter leaf load

리드프레임과 층간지(interleaf)가 서로 적층된 상태에서, 리드프레임만을 반송레일 위에 공급하는 장치. 층간지는 별도의 상자에 수납된다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
테일 바톰 - tail bottom

결정성장한 결정의 꼬리부분.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
평판마그네트론스퍼터링장치 - planar magnetron sputtering system

자력선이 평판 모양의 타겟 속에서 나와 다시 타겟쪽으로 돌아가는 구조의 캐소드(cathod)구조로 되어 있다. 자기장은 타겟 위에서 루프모양(race track)으로 전자를 이 공간에 가두는 구조로 되어 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대충전량 - charge size crucible capacity

M알칼리도 산소비량 (pH4.8) - M - alkalinity alkalinity (pH4.8)

진공큐어링 - vacuum curing

특수재료가스용입자계수기 - special gases particle counter

표준패턴 비교법 - standard pattern comparision

테스트박스 어플리케이션박스 - test box application box

층간지로더 - inter leaf load

테일 바톰 - tail bottom

평판마그네트론스퍼터링장치 - planar magnetron sputtering system

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