반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

클린페이퍼 저발진지 - clean paper

청정실 안에서 사용되는 먼지가 덜 나는 종이. 노트, 기록용종이 등이 사용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
패턴결함 - pattern defect

기판 위에 형성된 패턴 위의 모양이 정해진 오차 범위를 벗어난 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
CNC 응축핵측정기 - condensation nucleus counter

광산란파타클카운터로는 측정할 수 없는 서브미크론 입자를, 과포화증기 속을 통과시킨 입자를 성장시킨 후, 이것을 광산란으로 측정하는 장치. 입자를 입자지름별로 급을 나눈다는 것은 불가능하다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
저항가열 히터 - resistance heating element

고온벽 열처리반응로를 구성하는 전기저항을 이용한 가열용 히터. 쓰루풋의 향상시키기 위해, 급속가열, 냉각이 가능한 히터를 개발하고 있다.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
증가이동속도 - fast travel

시드이동, 도가니이동, 재료이동, 반응로이동, 보트이동 등 보통의 이동속도보다 10～100배로 보내는 이동속도. 단위는 (㎜/min)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
트리할로메탄 - trihalomethanes

원수 중의 유기물(주로 후민질)을 염소처리하여 생성되는 물질로, 메탄(CH4)의 수소원자 3개가, 염소, 브롬, 요오드의 할로겐 원자로 치환되는 화합물. 일반적으로 클로로포름(CHCl3), 브로모디클로로메탄(CHBrCl2), 디브로모노클로로메탄(CHBr2Cl), 브로모포름(CHBr3)로 표시한다. TOC성분이 있어, RO장치 등으로 제거된다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
ND 웨이퍼 NTD웨이퍼 - neutron transmut - ation doping wafer

실리콘 결정에 중성자를 조사, Si30의 일부를 P30에 치환하고, 실리콘 저항율을 조정한 기판.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼제공정
프리얼라인먼트 - prealign - ment

프로버 등으로 웨이퍼의 각도방향을 일정한 방향으로 맞추는 것.

반/디 용어집 사공정 핸들링
종단에너지 자석 - final energy magnet

원하는 에너지의 이온빔만을 일정각도로 편향시키기 위한 자석. 원리는 분석 자석과 같지만, 이것은 에너지오염을 제거하기 위해 설계된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

클린페이퍼 저발진지 - clean paper

패턴결함 - pattern defect

CNC 응축핵측정기 - condensation nucleus counter

저항가열 히터 - resistance heating element

증가이동속도 - fast travel

트리할로메탄 - trihalomethanes

ND 웨이퍼 NTD웨이퍼 - neutron transmut - ation doping wafer

프리얼라인먼트 - prealign - ment

종단에너지 자석 - final energy magnet

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!