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시드이동 스트로클 - seed lift travel

시드축의 이동거리. 단위는 (㎝)또는 (㎜)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
압력쿠커 압력용기 - pressure cooker

시험하려는 디바이스를 압력용기 안에 두고, 증기압을 높여 강한 압력으로 디바이스의 수지피복 속으로 수증기를 가하여, 습기의 침투를 가속시키는 것을 목적으로 하는 장치.

반/디 용어집 사공정 에싱
숄더 어깨 - shoulder

대시넥에서 무전위화된 결정을 천천히 직경을 확대시키는 영역으로써, 소정의 직경까지 결정의 직경을 넓혀는 부분.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
부하효과 로딩효과 - loading effect

식각속도가 식각면적 의존성을 표시하여, 일반적으로 식각면적이 증가하는 쪽이 식각속도가 낮아지는 현상.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
진공증착 장치 - vacuum evaporation system

10-2pa 보다 낮은 압력의 진공장치 안에 증발원(蒸發源)과, 그 주위에 웨이퍼를 놓고, 증발원을 가열하여 재료(금속, 화합물 등)를 진공 중에서 증발시키는 장치. 증발원자(혹은 분자)는 증발원에서 직진하여 기판면에 퇴적한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 진공증착장치
촉침식막후계 (觸針式膜厚計) - contact type film thickness meter

단차가 있는 시료 표면을 선단 반경 수 미크론에서 수십 미크론의 스타일러스라고 불리우는 침으로 주사(走査)하여 스타일러스의 상하 움직임을 전기신호로 변화시켜 읽어내는 것에 의해 막의 두께 또는 표면형상 등을 측정하는 장치

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
정렬 - alignment

프로버 등으로 웨이퍼의 위치와 방향을 조정하는 것.

반/디 용어집 사공정 핸들링
주입발광법EL - electro - luminescence method

순방향바이어스를 인가하여 주입된 소수캐리어가 재결합할 때에 방출되는 빛을 분광 분석하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
자외선살균기 - ultra violet sterilizer

수은 램프를 이용하여 파장 243.7㎚의 자외선(살균선)을 수중에 조명하여, 수중의 박테리아(생균)을 살균하는 장치.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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주입발광법EL - electro - luminescence method

자외선살균기 - ultra violet sterilizer

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