반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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챔버 퍼지 - chamber purging

CVD에 있어서 반응가스를 도입하는 전후의 공정에서 캐리어 가스로 반응실을 정화하는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
장시간묘화위치정밀도 - closure long term die to die error

묘화를 시작할 때부터 종료할 때까지 발생하는 패턴의 상대적인 위치 부정합의 정밀도. 일반적으로 묘화를 시작하고 종료할 때에 각각을 비교하여 패턴을 묘화하는 방법이 이용되고 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
자동 컷세팅 - automatic cutter set

지정커트 라인길이 또는 라인수마다 자동적으로 블레이드를 원점조정하여, 블레이드의 마모를 보정하는 것.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
조도 불균일성 - illumination uniformity

화면사이즈 내에 있어서 방사조도의 불균일성.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
흡착식건조기 - absorption dryer

기체중의 수분을 물리적, 화학적으로 흡착하는 드라이어.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
평균직경 - mean diameter

연마재 입자의 긴 지름과 짧은 지름의 산술평균.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
재료이동스트로크 - material lift travel

부동대역법(floating zone method)에서의 위 축의 이동가능거리. 단위는 (㎝) 또는 (㎜)으로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
황산재생장치 - sulfuric acid reprocessor

세정․박리 등의 고정에 사용되는 황산․과산화수소의 혼합폐액을 증류하여, 황산만을 회수정제하는 장치. 회수된 정제황산은, 습식공정에 재이용된다. 상압증류법과 감압증류법이 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
자동사이징장치 - automatic sizing device

자동적으로 소정의 길이로 자르는 장치로, 게이지(gauge) 또는 측정자로 자동적으로 치수조정하는 것과 공작물과 연마기의 상대적 위치규정에 치수조정하는 것이 있다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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평균직경 - mean diameter

재료이동스트로크 - material lift travel

황산재생장치 - sulfuric acid reprocessor

자동사이징장치 - automatic sizing device

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