제1 본딩 다음에 실시되는 본딩. 제2 본드로 와이어가 초승달모양으로 되는 것을 크레센트(crescent)라고 한다.
반/디 용어집조립공정본딩
직접치환식 세정장치 - direct displacem - ent type cleaning equipment
여러 세정액으로 웨이퍼를 세정하면서 단일한 수조에 A액, 순수, B액, 순수, 처럼 순차적으로 앞의 약액을 뒤의 약액으로 완전히 치환하는 것처럼 공급하여, 웨이퍼 표면을 공기에 노출시키지 않고 일련의 세정처리를 실시하는 것처럼 하는 장치. 보통의 세정장치와 다른 세정조가 한 개이면 되므로, 면적 작다는 이점이 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
증발잔류물측정기 - non - volatile residue analyzer
초순수 중의 불순물은 미립자수․비저항․TOC․실리카 등 개별적으로 측정되는데, 이들 불순물의 총량을 증발잔류물로써 측정하는 측정기. 초순수를 분무하여 기화시킴으로써 이 중에 함유된 입자모양의 물질 및 용재물질을 청정공기중에서 미립자 형태로 석출시켜, 이 미립자를 광학계로 측정하여 통계처리하는 것에 의해 초순수 중의 불순물농도를 ppb로 표시한다.
반/디 용어집설비․환경공정물
초순수제조장치 초순수장치 - ultrapure water system
상수도물, 공업용수, 생활용수 등을 원수로 하고, 그 중의 불순물을 고순도 이온교환수지, 고기능막 등을 이용하여 정제분리하여, 고순도의 순수를 제조하는 전체 설비. 장치와 전처리장치, 일차순수장치, 서브시스템으로 구성된다.
반/디 용어집설비․환경공정물
트랜스퍼 몰딩 - transfer molding
열경화성수지를 가열실(포트) 안에서 녹인 후, 가열된 금형캐비티에 압력을 가하여 주입시켜 성형하는 방법.
반/디 용어집패키지조립공정
포고컨택트 포고핀 - POGO contact POGO pin
접촉핀 뒤에 스프링이 있어 완충작용을 하는 접촉침을 말하며, , 기판의 랜드부분에 전기적으로 접속한다.
반/디 용어집기본․공통사공정
패턴형성장치 - pattern lithography system
마스크 블랭크 위에, 원화 패턴을 형성하기 위해, 노광묘화, 현상, 베이킹, 식각, 레지스트 제거, 세정 등을 행하는 장치의 총칭