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플래트니스 테스터 평면도측정기 - fletness tester

기판의 평탄도를 측정하는 장치. 평탄도가 매우 높은 기준판(optical flat)과 프리즘을 피검사판과 평행하게 세팅하여, 레이저광선으로 얻어지는 간섭 골의 개수, 모양(간섭 골의 간극)에 의해 평탄도가 측정된다.

반/디 용어집 검사장치 마스크 블랭크 제조
정반요동기구 - table oscillation

연마정반을 포함한 구동부를 수평으로 왕복운동시키는 기구. 웨이퍼에 대한 연마조건을 균등화시킬 목적으로 사용된다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
증착속도 - deposition rate

웨이퍼 위에 단위시간당 성장하는 막의 두께. 진공증착법에서 증착속도, 스퍼터링법에서는 스퍼터링속도, CVD법에서는 퇴적속도라고도 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
주사스텝식 투영노광 장치 - step - and - scan projection aligner

주사식 투영노광장치와 같은 모양의 동기주사방식으로 각 샷의 노광을 행하고, 또 기판을 반복스텝하여 동일한 기판 위에 여러 샷의 노광을 행하는 투영노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
전위(轉位) - dislocation

결정의 격자결함의 하나로, 결정내부에서 매끄러운 부분과 매끄럽지 않은 부분과의 사이의 경계로써 나타나며, 부분적으로 결정격자가 잘려진 부분이 선 모양으로 연결되는 선.

반/디 용어집 특성용어 검사
초음파 출력밀도 - ultarsonic power density

초음파 진동자의 단위면적에서 단위시간에 방사된 초음파 에너지의 크기. 단위는 W/㎠.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
할로겐램프 어닐장치 - halogen lamp annealer

가열원으로써 할로겐을 이용한 어닐장치. 단시간어닐(RTA :Rapid Thermal Annealing)로 사용된다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
차압댐퍼 - pressure setting damper

기압이 다른 공간의 격리벽에 설치하여, 두 공간의 압력차를 안정유지하기 위한 차압조절댐퍼. 일반적으로 미소풍압으로 부상하는 스윙식의 판에 슬라이드 할 수 있는 추를 차압설정용으로 하여 부착시킨 밸런스형이 이용되고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
콜린세정액 - choline - based cleaning solution

콜린[트리메틸(2-히드록시에틸)암모늄하이드로옥사이드]을 주 용제로한 웨이퍼 세정액. 비이온계면활성제를 혼합한 용액은 중금속 세정성이, H2O2를 혼합한 액은 미립자 제거성이 RCA세정보다 우수하므로 일부에선 실용화되고 있다. 계면활성제와 메타올 첨가의 콜린액에 의한 세정을 Summa Clean이라고 부른다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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차압댐퍼 - pressure setting damper

콜린세정액 - choline - based cleaning solution

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