반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

칩돌상 플런지업 - plunge up

다이싱된 웨이퍼에서 칩을 하나씩 분리흡착하여 이송할 때, 다이의 뒷면에서 바늘 모양의 핀을 밀어오리는 것.

반/디 용어집 조립공정 본딩
포드 - pod

고도의 국소 청정화 기술로 청정실의 비용을 줄일 목적으로, 처리할 대상(웨이퍼)을 수납하여 보존, 반송하는 밀봉된 용기의 총칭. 밑에 주요 구성요소를 선택하여 조합하면 4가지 종류가 나온다. *용기내부의 웨이퍼를 지지하는 카세트 부분이 용기와 다른구조인가, 같은 구조인가 (카세트부분이 분리되는가, 분리되지 않는가) *개구부(開口部)각 앞면에 있는가, 밑면에 있는가

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
훅업 - hook up

반도체제조장치에 전원, 급․배수, 배기 등의 유틸리티를 접속하는 것. 드물게는 반도체제조장치 자신을 설치한 것을 말할 때도 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
효과 에지 - effective edge

마스크 패턴의 절연부에서 빛의 투과율이 같은 점을 연결한 궤적. 패턴의 실질적인 경계선이 된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
클러스터․이온빔 증착장치 - ionized cluster beam evaporation system

고진공 중에서, 10-2～10-3개의 원자가 모인 클러스터를 이온화하고, 가속시켜 웨이퍼에 충돌․퇴적시키는 장치. 증발원은 클러스터증발원인데, 증발셀(cell)의 증기배출구를 작은 노즐로 만들어 셀의 안과 밖의 압력차를 크게 하여 분출시킨다. 이 때, 증기가 단열팽창하는 과정에서 클러스터가 생성된다. 열전자방출 필라멘트와 양극(陽極)을 이용한 전자충격으로 클러스터를 이온화한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 진공증착장치
컵 린스 - bowl rinse

레지스트를 도포할 때 컵 안을 청정하게 유지하고, 또 유지(maintenance)를 간단히 하기 위해, 소량의 용제로 간단하게 세정하는 것

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도포장치
출력패턴 센스법 - sensitizing pattern generation method

피측정디바이스에서 예상되는 패턴을 작성하는 방법. 입력패턴을 양품의 피측정디바이스에 인가하여 출력패턴정보를 얻어, 테스트 패턴을 작성하는 방법.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
테스트패턴 메모리 - test pattern memory local memory

논리디바이스의 기능검사에 사용하는 시계열 방향의 테스트패턴을 발생하기 위한 데이터를 저장하는 메모리.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
조사형터널현미경법 STM - scanning tunneling microscopy

전계방사전류가 탐침과 시료 사이의 거리에 의존하는 것을 이용하여 시료표면의 원자레벨의 굴곡을 터널전류의 변화로 탐지하고, 탐침의 움직임을 화상으로 표시하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

칩돌상 플런지업 - plunge up

포드 - pod

훅업 - hook up

효과 에지 - effective edge

클러스터․이온빔 증착장치 - ionized cluster beam evaporation system

컵 린스 - bowl rinse

출력패턴 센스법 - sensitizing pattern generation method

테스트패턴 메모리 - test pattern memory local memory

조사형터널현미경법 STM - scanning tunneling microscopy

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!