반응원으로 액체소스인 TEOS*를 사용하고, 산화제로 O3를 사용하여 SiO2막을 형성하는 상압 CVD. 우수한 단차 피복성(step coverage)과 높은 쓰루풋이 특징이다. 도핑재료로서는 B, P가 이용되고 있다. *tetraethylorthosilicate, Si(OCH2CH3)
반/디 용어집CVD 장치웨이퍼처리공정
편석 - segregation
용융액으로 응고할 때, 최초에 분출한 고체와 나중에 분출한 고체의 구성이 다르기 때문에 어떤 성분이, 이 응고된 고체의 어느 한 부분으로 치우치는 현상.
반/디 용어집결정성장웨이퍼제공정
케이크호퍼 - cake hopper
오염먼지탈수기에의해 배출되는 탈수 케이크를 운반차로 이동하기 위해 설치된 저부개폐식의 탈수 케이크 저장조. 구동방식에는, 유압, 공기압 및 전동식이 있다.
반/디 용어집초순수장치설비․환경공정
클린부스 청정부스 - clean booth
수직으로 불어넣는 간단한 청정실. 유니트의 천장면에는 팬필터유니트 등이 설치되어 있고, 벽면은 플라스틱의 커텐으로 되어 있다. 작은 공간을 간편하게 청정실화할 수 있으며, 이동시킬 수 있는 것도 있다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
퍼핀테스터 퍼핀리소스 테스터 - per - pin tester per - pin resource tester
피측정디바이스에 인가한 테스터 파라메터가 각 핀에 독립적으로 설정되는 기능을 갖는 장치. 테스터 파라메터를 각 핀 공용으로 사용하는 쉐어드리소스형(shared resource) 테스터에 비해, 복잡한 테스터패턴 및 타이밍 등의 조건 발생이 불가능하기 때문에, 고도화한 논리IC의 측정에 이용되고 있다.