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폴리마이드 도포 - polymide coating

보호막, 층간절연막을 형성하기 위해 폴리마이드막을 도포하는 것. 폴리마이드는 점도가 높고(1000～2000 cp), 용제로는 휘발성이 낮은 NMP를 사용하고 있다. 도포한 후, 용제가 휘발시키기 위한 베이킹과 막을 굳게하는 베이킹(400。C)을 실시한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
IDDQ 시험 정지전압 전류시험 - IDDQ test quiescent power supply current test

CMOS디바이스의 시험에 있어서, 디바이스에 테스트패턴을 인가하여, 각 사이클마다의 정지전원전류를 측정하여 불량을 검출하는 시험방법.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
준비실 - anteroom

청정실에서 사용되는 재료와 장치를 청소하거나, 반입준비 등을 하는 방. 에어샤워(air shower)장치 등 청정화 기능을 구비하고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
타이바컷 - tiebar cutting

리드프레임의 리드끼리 연결하여 지지하는 타이바를 절단하여 제거하는 것.

반/디 용어집 조립공정 마무리
DLTS - deep level transient spectro - scopy

펄스전압을 순방향으로 인가하고, 온도를 올리면서 트랩된 캐리어의 열방출에 의해 접합용량 변화하는 양을 검출하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
패턴비교 검사장치 - pattern compensat - oin inspection system

검사하려는 마스크 패턴을 마스크의 안 또는 마스크 사이의 패턴과 비교하여, 이 두 개의 패턴이 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사장치.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
초산셀룰로즈제역침투막 CA막 - cellulose acetate reverse osmosis membrane

초산셀룰로즈를 주원료로 한 RO막. 아세틸 함유량과 성막조건을 변화시켜서, 다양한 성능의 막이 제조된다. 일반적으로 세균에 의한 성능저하를 막기 위해 잔류염소하에서 사용한다. 막은 내잔류염소성이 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
펄스마스크 검사 - pulse mask test

ISDN용 디바이스에서 단일 펄스데이터를 보낼 때, 파형의 오버슛(overshoot), 타이밍의 오차 등을 허용 가능한 범위의 템플레이트(template)와 비교하는 검사.

반/디 용어집 사공정 혼합형 디버그장치
정적기능검사 - static functional test

시간적으로 변화하지 않는 논리신호를 패턴발생기에서 피측정디바이스에 입력시켜, 이것의 출력특성 및 시간축 특성을 평가하는 시험.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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펄스마스크 검사 - pulse mask test

정적기능검사 - static functional test

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