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커트라인 체크 커프체크 - kerf inspection

다이싱 중에 화상인식장치에 의해 홈파기(kerf)의 위치, 폭 및 치핑(chipping) 등을 자동적으로 검사하는 기능. 이 결과에 따라 자동보정하거나 경보를 발생한다.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
초음파유속계 - ultrasonic anemometer

한 쌍의 초음파송수신소자에 일정시간마다 역전된 펄스로 송수신하여, 유속의 크기에 의해 펄스전파속도가 변화하는 특성을 이용하여 풍속을 측정하는 계기. 세 쌍의 송수신소자를 세팅한 3차원측정으로 유속벡터를 산출할 수 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
플라즈마 분리형 마이크로파플라즈마 CVD장치 - after glow microwave plasma enhanced CVD system

마이크로파에 의한 플라즈마생성실과 성막실(成膜室)이 분리되어, 이 사이를 운송로로 결합시킨 마이크로파플라즈마CVD장치. 플라즈마가 웨이퍼에 직접 쏘지 않기 때문에, 플라즈마의 영향을 받지 않아 데미지(demage)가 낮게 막을 성장시킬 수 있는 것이 특징이다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
테스트시스템네트워크 - test system network

반송계 및 측정계에 이르는 도달계 전체의 가동률, 피측정디바이스의 테스트 프로그램 및 수율관리 등을 호스트컴퓨터를 중심으로 실시하는 네트워크. 시스템 단독으로 국소적인 처리를 하는 스탠드아론형 테스팅환경을 탈피하고, 시스템 전체의 생산효율향상을 꾀하도록 구성된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
흡진장치 - dust collector

연마찌꺼기 및 연삭찌꺼기를 흡수하는 장치.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
축소렌즈계(係) - demagnifi - cation lens system

전자빔 상(image)을 축소시킬 목적으로 구성된 전자광학렌즈계. 일반적으로 축소투영렌즈를 사용한다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
평행평판형 플라즈마 CVD장치 - diode parallel plate plasma enhanced CVD system

반응실 안에 2장의 평판전극을 마주보게 하고, 히터를 내장한 한 쪽 전극판 위에 웨이퍼를 설치하여, 마주보는 전극 사이에 고주파전력을 인가해, 저압반응가스의 플라즈마를 발생시켜, 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 용량결합 플라즈마CVD장치.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
카세트 대 카세트 - cassette - to - cassette handling

공급측 카세트에서 웨이퍼를 1장씩 자동적으로 꺼내 처리실로 보내 처리한 후 수납측 카세트에 웨이퍼를 수납하는 방식.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
파형합성기 HAWG PAWG - waveform synthesizer high frequency (precision) arbitrary wave gererator

멀티톤 신호(multi-tone signal), 모뎀용 변조신호 등 임의의 파형을 발생시키는 합성기. DA변환기와 데이터 저장메모리로 구성되어 있다.

반/디 용어집 사공정 혼합형 디버그장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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카세트 대 카세트 - cassette - to - cassette handling

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