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평면사각형 패키지 - QFP quad flat package

패키지의 4 방향 모두의 측면에서 외부단자가 인출된 표면실장형의 패키지.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
현상비율 - developing rate

현상속도. 현상액농도, 레지스트의 감도, 노광량에 의해 달라지기 때문에, 보통 일정한 레지스트, 노광량, 현상액의 종류, 농도에 의 한 기준현상속도를 결정하여, 현상액의 열화 등의 판단기준이 된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 레지스트 처리
크누센 셀 - Knudsen cell

진공증착용 및 분자선발생용의 증발원. 주위를 액체질소로 냉각한 용기 안에, 가열원과 증발용의 PBN 등으로 만들어진 도가니가 설치되어 있다.

반/디 용어집 에피택셜 성장장치 웨이퍼처리공정
카세트세정장치 - cassette cleaning equipment

웨이퍼 반송용 카세트에 부착된 오염입자를 세정제거하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
적외선 어닐장치 - infrared annealer

자연 램프 등을 이용하여 얻어지는 방사광을 조사하여 단시간에 열처리하는 장치. 방사광 조사의 수단으로써 할로겐램프 어닐장치, 아크램프 어닐장치, 흑연(graphite)히터 어닐장치로 구분된다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
테스트 시뮬레이터 - test simulator

디바이스 프로그램(테스트 프로그램)을 오프라인으로 시뮬레이션하기 위한 소프트웨어 툴(tool). 디바이스 프로그램의 동작확인 및 시험패턴 등의 디버깅(debugging)에 사용된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
화상데이터 처리기 - image data processor

프레임 메모리를 저장한 화소데이터를 처리하기 위한 전용처리기.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
제철․제망간장치 - deiron demanganese equipment

원수 중의 철과 망간을 제거하는 장치. 철제거는 공기노출(aeration), 전염소처리와 응집침전여과방식으로 처리한다. 망간제거는 전염소처리 후에 망간접촉여과재를 이용한 접촉여과방식으로 처리한다.

반/디 용어집 사공정
진공로봇 - robot for using in vacuum

진공실 안에서 기판을 이송하기 위해 사용되는 반송기구의 총칭. 마스크, 웨이퍼 등의 기판의 파티클(particle) 오염을 방지하기 위해, 접히는 부분이 적은 로봇이 사용되고 있다. 보통 직진․회전․상하운동의 기능을 가지고 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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현상비율 - developing rate

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적외선 어닐장치 - infrared annealer

테스트 시뮬레이터 - test simulator

화상데이터 처리기 - image data processor

제철․제망간장치 - deiron demanganese equipment

진공로봇 - robot for using in vacuum

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