반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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저온액화가스필터 - cryogenic liquefied gas filter

냉증발기(cold evaporator)에서 공급되는 저온액화가스 중의 미립자를 포획하는 필터

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
직접인덱스 기능 샘플링프로브기능 - direct index function sampling probe function

웨이퍼테스트를 실시하기 전에 미리, 측정하려는 칩의 로케이션(좌표)를 테스트시스템 또는 프로버로 설정해두고 테스트할 때 이 데이터를 기초로 설정된 칩만을 처리하는 기능.

반/디 용어집 사공정 핸들링
주입실 - implant chamber process chamber target chamber

웨이퍼에 이온주입하는 처리실. 주입할 때, 챔버 내에 있는 가스와 이온빔의 충돌에 의해 발생하는 중성입자가 같이 주입되어 생기는 주입량의 오차를 막기위해, 고진공을 유지할 필요가 있다. 높은 쓰루풋(throughput)을 달성하기 위해, 진공 예비실과 두 개의 주입실이 설계된 장치도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
DART - distribution analysis in real time

테스팅장치에서의 측정데이터와 분석결과를 실시간(real time)으로 해석하는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
하향조정 상향조정 - down set up set

칩의 접착높이를 최적의 위치로 할 목적으로 리드프레임의 칩 접착면을 아래 또는 위로 조정하는 것

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
피치 - pitch

포토마스크 위에 규칙적으로 배열된 패턴의 일종. 임의의 두 측정대상 패턴 사이의 거리

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
평면연삭내부도절단복합가공기 - inner diameter saw with built - in grinder

내부도식 절단기에 연삭휠을 설치하고, 막대 모양의 재료(ingot)의 단면을 연삭하면서 재료를 절단하여 웨이퍼를 제조하는 복합가공기계.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
카세트리스 세정장치 - cassetteless wet cleaning equipment

카세트에서 전 웨이퍼를 일괄 체크하여 골라내어, 여러 수조 사이를 자동운반하는 기구 중에서, 웨이퍼만을 배치침적세정할 수 있도록 한 장치. 카세트를 이용하지 않으므로, 수조의 크기를 축소할 수 있고, 장치전체의 공간을 줄일 수 있으며, 세정액 사용량이 줄고, 세정효율과 린스효율을 향상시킬 수 있다는 등의 많은 이점이 생긴다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
투웨이방식 - two - way

고정된 윗정반과 밑정반 사이에 끼어넣은 유성기어가 정반 중심의 태양기아에 위치하는 인터널기아에 서로 물려 자전하면서 공전하므로, 캐리어 속의 가공물에 두 방향으로 운동을 가하는 방식.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

저온액화가스필터 - cryogenic liquefied gas filter

직접인덱스 기능 샘플링프로브기능 - direct index function sampling probe function

주입실 - implant chamber process chamber target chamber

DART - distribution analysis in real time

하향조정 상향조정 - down set up set

피치 - pitch

평면연삭내부도절단복합가공기 - inner diameter saw with built - in grinder

카세트리스 세정장치 - cassetteless wet cleaning equipment

투웨이방식 - two - way

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