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정온툴 - constant temperature thermode

전열히터등에 의하여 항상 일정 온도로 가열되어 사용되는 본딩용 압착툴.

반/디 용어집 조립공정 본딩
전자장애 EMI - electro magnetic interference

불필요한 전자기신호 또는 전자기잡음에 의해, 전기․전자기기가 일으키는 오동작으로 정상기능이 저하되는 것. 또 전기통신기기의 성능에 장해를 준 전자에너지를 말하는 경우도 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
초점심도 DOF - depth of focus D. O. F.

일정한 결상성능을 유지할 수 있는 초점범위로써, 줄여서 DOF라고도 부른다. 초점심도를 수식으로 표현하면, 다음과 같이 된다. C1133 : 계수 : 파장 : 개구수

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
저압자외선산화장치 TOC - UV - ultra violet oxidation unit with low pressure mercury pump

저압자외선 램프에서 방출되는 184.9㎚의 자외선에 의해, 수중의 유기분자를 산화분해하여 유기산과 이산화탄소(CO2)에 분해하는 장치. 분해생성하는 유기산과 CO2와, 후단의 폴리셔로 제거한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
전실온 세정공정 - total room temperature wet cleaning process

전공정을 실온에서 처리할 수 있는 공정. (1)오존, HF, 게면활성제를 낮은 농도에서만 사용한다. (2)약액증기의 발생이 적고, 액관리가 불피요하여 배기량도 줄일 수 있다. (3)에너지와 자원을 줄일 수 있다. (4)환경대책이 용이하다는 등의 특징이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
체크밸브 - check vlave

가스배관에 설치되며, 유체가스의 역류를 방지하기 위해 배압에 의해 작동하는 밸브. 2종류 이상의 반도체제조용 가스를 혼합하여 이용하는 경우, 혼합폭발과 독가스, 혹은 부식성가스 등의 역류에 의한 사고를 미연에 방지할 목적으로 이용한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
정지화상 - static image

SEM상을 메모리에 보존하여, 관찰 또는 측정할 때에 메모리에서 불러와 화상을 표시하는 방법.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
저가속관찰 - low voltage observation

낮은 가속전압에 의한 SEM 관찰법. 가속전압을 낮게 하면, 이차전자의 방출효과가 커져 차지업이 작기 때문에, 시료표면에의 충실도가 높게 관찰할 수 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
집적화부품 - integrated component

가스공급계를 구성하는 기능이 다른 여러 개의 부품을 하나씩 블록으로 집적화하는 것. 예를 들면, 올메탈 레귤레이터에 스토퍼밸브와 필터를 조합하여 넣은 것 등이 있다.

반/디 용어집 수질분석기기 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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집적화부품 - integrated component

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