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분류(噴流)식 식각장치 - overflow cup etching system

화학식각액을 컵 모양의 용기에서 넘치는 것처럼 흐르게 하고, 식각면이 이 액체면에 접촉하도록 회전시키면서 웨이퍼의 한 부분의 면만 식각하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼 식각장치 웨이퍼처리공정
모방마스터 - copy master

가공물의 연삭 형상의 모형.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
불화부동태처리 - fluorine passivation treatment

열불화에 의한 금속의 표면에 불화부동태피막을 형성하는 기술. 불화막의 화학조성은 하지의 금속성분에 의존한다. 불소계의 강부식성가스에 대한 내부식성이 우수하다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
초음파 스프레이 세정장치 - ultrasonic spray cleaning equipment

초음파진동을 가하면서, 세정액을 피세정물에 뿌리는 세정장치. 간단한 스프레이와 비교할 때, 세정력을 높이는 효과가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
청정도클래스 - cleanliness class

청정도레벨을 등급분할한 표현.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
자동치수제어장치 - adaptive controller automatic thickness controller

가공중에 가공물의 치수를 자동적으로 계측하고 계측된 치수로 신호를 보내는 장치. 신호를 보내는 방법으로써, 위아래 정반 사이에 거리를 와전류센서로 표시하는 것, 수정편(水晶片)을 캐리어의 센서에 넣어, 수정 전압효과를 이용하여 표시하는 것 등이 사용되고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑
전자빔묘화장치 - electron beam lithography system

전자빔을 이용하여, 마스크 블랭크 위에 오리지널(원화) 패턴을 묘화하는 장치. 묘화방식으로써 라스터 스캔방식과 벡터 스캔방식이 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
초음파 세정장치 - ultrasonic cleaning equipment

세정조 속에 침적된 세정대상물에 초음파를 쏘아 세정하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
전압콘트래스트 전위콘트래스트 - voltage contrast potential contrast

피측정디바이스의 표면을 전자빔으로 조사할 때에 검출되는 이차전자에 의한 전위분포의 명암.

반/디 용어집 사공정 디버그

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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전압콘트래스트 전위콘트래스트 - voltage contrast potential contrast

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