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수소 터미네이션 수소종단화 - hydrogen termination

웨이퍼의 가장 바깥 표면에 Si 원자가 수소와 결합하여, 안정화되어, 소수성(물과 반응하지 않는)표면으로 되는 상태. 산화막을 불소산수용액으로 처리한 후에 발생되지만, 완전하지 못한 것도 있어, 이 경우에는 시간경과에 의해 자연산화막이 형성된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
스냅큐어 - snap cure

홀더반송부에 큐어부를 설치하여, 반송할 때에 짧은 시간에 다이접합수지를 경화시키는 기구.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
분석 자석 - analyzing magnet

이온빔 속에 포함되는 각종의 이온에서, 필요로 하는 이온시드만을 추출하기 위한 전자석. 각 이온시드는 자기장 안을 각자의 운동량에 따라 다른 궤도를 그린다. 이것을 이용하여, 분석 자석의 자기장의 크기를 조정하여, 원하는 이온시드만을 선택한다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
불순물포획 - impurity trap

Si 웨이퍼의 게터링작용으로, 알칼리 금속과 중금속 불순물을 포획하는 것.

반/디 용어집 열처리용어 웨이퍼제공정
본딩파라메터 - bonding parameter

본딩에 있어서 본딩대상물의 접합성 등을 좌우하는, 장치에 설정된 모든 조건. 장치마다 내용이 다르지만 가열온도․하중․초음파․출력․초음파인가시간․루프제어기 조건 등이 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
액티비 댐퍼 - active damper

반도체 노광장치에 있어서, 받침대 진동 등의 외란(disturbance)를 차단하기 위한 진동제거장치인데, 특히 진동을 억제하기 위한 액추에이터(actuator), 센서 및 이 제어 시스템을 갖는 진동제거장치를 말한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
센터 블럭 - center block

성형금형의 중앙블럭. 일반적으로 포트, 플런저가 배치되어 러너와 연결된다.

반/디 용어집 패키지 조립공정
보트 엘리베이터 - boat elevator

웨이퍼의 반송에 사용되는 장치의 하나로, 보트를 상하(수직)방향으로 이동시키고, 각 반응관에 보트를 받거나 넘겨주는 장치.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
양이온교환수지 - cation exchanger resin

수중에 존재하는 양이온(Na+, Ca2+, Mg2+ 등)을 흡착제거하는 이온교환수지. 양이온을 흡착하는 힘이 강한 강산성양이온교환수지와, 흡착하는 힘이 약한 약산성양이온교환수지의 두 종류가 있다. 또 다공(porous)형, 겔형의 2종류가 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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