반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

버퍼 - buffer

장치 안에 마스크, 웨이퍼 등의 기판을 일시적으로 수납하기 위한 곳. 보통의 카세트(carrier)를 이용하는 것과, 전용기구를 이용하는 것이 있다. 기판을 꺼내고 빼는 것은 FIFO(First Input First Output)과 LIFO(Last Input First Output)의 두가지 방법이 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
산화시드 - oxidation seed

산화반응에 관여하는 원자․분자․이온 등의 물질의 총칭

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
반건식배기처리장치 - semi dry type exhaust gas abatement equipment

수분의 보급을 필요로 하는 흡착재를 이용하여, 반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를 무해화하는 장치. 건식과 같은 흡착재식이지만 수분이 필요하므로 반건식이라 부른다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
식각․박리 장치 - etching and stripping system

마스크 블랭크 위에 원화패턴을 노광․묘화․현상시킨 후, 표면의 크롬막 등을 식각한 후 레지스트를 박리하는 장치인데, 건식과 습식이 있다. 건식(乾式)레지스트 박리장치(식각장치)로는 플라즈마식과 광여기(光勵氣)방식이 있다.

반/디 용어집 마스크제조공정 패턴형성장치
어드레스사이즈 - address size

묘화용 데이터를 좌표로 표현하는 최소치수 전자빔 및 레이저 빔의 치수를 결정하는 좌표분해의 최소치수

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
바스켓위브 묘화법 - basket - weave drawing fashion

라스터 스캔방식의 전자빔 묘화장치에서, 마스터 마스크를 묘화할 때, 스테이지가 동작하는 모양을 바구니 짜는 것에 비유한 것. 한 칩이스트라이프(또는 프레임)로 된 마스터 마스크에 있어서, 첫 행에 배치된 칩군(chip群)의 최초의 칩열을 제1 스트라이프(또는 프레임)에서 제스트라이프(또는 프레임)까지 스테이지의 왕복운동으로 묘화하여, 한 칩렬의 묘화를 완성하고, 같은 모양의 방식으로써 순차적으로 칩렬(chip列) 묘화를 완성시키는 묘화방식.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
미립자 파트클 - particulate small particle

입자지름이 상당히 작은 입자로, 일반적으로는 기체중 또는 액체중에 부유할 때, 침강하기 하기 쉬운 10㎛정도 이하의 입자.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
분해온도 - dissociation temperature

CVD의 반응가스가 분해되는 온도. 일반적으로 텅스텐카보닐 등 저온에서 분해되는 가스가 이용된다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
앞면기준 표면기준 - front side reference

웨이퍼표면측으로 기준면을 잡는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

버퍼 - buffer

산화시드 - oxidation seed

반건식배기처리장치 - semi dry type exhaust gas abatement equipment

식각․박리 장치 - etching and stripping system

어드레스사이즈 - address size

바스켓위브 묘화법 - basket - weave drawing fashion

미립자 파트클 - particulate small particle

분해온도 - dissociation temperature

앞면기준 표면기준 - front side reference

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!