냉각수 중에 녹아 있는 난용성염이 농축되어 고체상태로 굳어, 열교환기와 배관 등에 부착된 것을 스케일이라 하고, 이것들을 방지하는 약품을 말한다. 스케일로써는 탄소칼슘, 실리카 등이 있고, 방지제로써는 아크릴산계 몰리머 등이 있다.
반/디 용어집설비․환경공정물
불량해석 메모리 - failure analysis memory
기능검사에 의한 불량정보를 테스트사이클마다 저장하는 메모리. 즉, 불량해석메모리의 일부를 디바이스의 불량셀 어드레스를 저장하는 메모리를 AFM(address failure memory)라고 하고, 디바이스에 불량이 발생할 때 패턴발생기가 발생한 각종 패턴을 저장하는 메모리를 DFM(data failure memory)라고 한다.
반/디 용어집기본․공통사공정
불량비트맵 - fail bit map
메모리소자의 불량해석방법의 하나. 불량 셀의 위치(어드레스)를 시각적으로 확인할 수 있도록 도시하는 방법 또는 도시된 지도.
반/디 용어집사공정디버그
석출 - precipitation
용액 또는 고용체(고체와 액체가 공존)중에 과잉으로 용해된 원자가, 이 용액 또는 고용체에서 분리되어 새로운 안정, 또는 준안정 상태의 고체를 만드는 현상.
반/디 용어집특성용어검사
연마지 - abrasive paper sandpaper
종이의 표면에 연마재를 접착제로 고착시킨 연마공구.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
식각선택비 식각선택성 - etch selectivity
식각되는 물질의 식각량과, 식각마스크 재료 및 식각마스크 밑의 재료의 식각량과의 비. 식각선택비=a/b a : 식각되는 재료의 식각량 b : 식각마스크재료 및 식각마스크 밑의 재료의 식각량
반/디 용어집건식식각장치웨이퍼처리공정
어닐링 일단열처리 - annealing
주로 Si 웨이퍼의 표면결함을 검사하기 위한 열처리방법. 1000℃전후에서 수십시간의 한번 열처리하는 것을 어닐링(일단열처리)라고 한다.
반/디 용어집열처리용어웨이퍼제공정
블레이드 텐션 - blade tension
블레이드의 직각방향의 강도. 일정한 하중을 가하였을 때의 변위량 또는 일정변위량 동안 걸린 하중으로 표시한다.
반/디 용어집기계가공절단장치-하드기능
생균수 세균수 - number of micro organisms number of bacteria
일차순수와 초순수에 포함된 세균수를 평판배양법 도는 멤브레인필터법으로 형성된 집락수(集落數)를 구하여, 표시하는 개수, 미량의 생균수의 측정에는 후자가 이용된다. 표시는, 처리한 용액량에 의해 개/ml, 개/100ml 등이 이용된다.