반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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여과재유전형공기필터 - charged - media electric air filter

고유전체의 여과재를 이용하여, 미리 하전부에 대전시킨 입자를 정전유도작용에 의해 포집하는 구조의 공기필터.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
벌크가스 - bulk gas

반도체제조의 퍼지가스(purge gas), 캐리어가스, 산화가스로써 사용되는 가스. N2, O2, H2, Ar을 가리키며, 특수재료가스에 비교할 때, 대량으로 소비된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
애싱 장치 건식박리장치 - asher dry type stripping system

웨이퍼 위의 레지스트를 산화시켜 날려버려, 제거하는 장치. 습식박리장치에 비해 선폭이 줄어도 문제가 없으며, 적은 공간에서 깨끗하게 레지스트를 제거할 수 있다.

반/디 용어집 애싱장치 웨이퍼처리공정
에어벤트 - air vent

수지를 주입할 때의 금형의 수지충전부의 공기 및 가스를 외부로 내보내기 위한 홈 또는 구멍.

반/디 용어집 패키지 조립공정
방진장갑 - clean glove dust free glove

작업자의 손에서 발생하는 미립자, 땀 등이 투과되는 것을 억제한 청정한 장갑. 나일론, 비닐, 고무 등의 소재가 사용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
사이트배열 - site array

FQA 안에 있어서 규정된 사이트의 배열

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
샷 - shot

한 번의 노광 광조사(光照射). 또는, 이런 노광에서 빛을 받는 영역.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
백킹 패드 - backing pad

왁스리스 연마로 웨이퍼를 지지하는 템플레이트의 밑에 있고 웨이퍼에 데미지를 주지않도록 하면서 지지하는 부재. 일반적으로 부드러운 폴리우레탄의 발포체(發泡體)가 이용되는 일이 많다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
연마폐수처리장치 - grinding waste water treatment equipment

기판연만, 절삭 등에 의해 발생하는 미세입자를 포함하는 폐수를 처리하는 장치. 응집제를 첨가하는 응집침전법과 물의 회수를 목적으로 한 막 분리법 등이 있다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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