입자지름이 상당히 작은 입자로, 일반적으로는 기체중 또는 액체중에 부유할 때, 침강하기 하기 쉬운 10㎛정도 이하의 입자.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
청정도클래스 - cleanliness class
청정도레벨을 등급분할한 표현.
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전자장애 EMI - electro magnetic interference
불필요한 전자기신호 또는 전자기잡음에 의해, 전기․전자기기가 일으키는 오동작으로 정상기능이 저하되는 것. 또 전기통신기기의 성능에 장해를 준 전자에너지를 말하는 경우도 있다.
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잡샵 - job shop
같은 기능의 제조장치군을 모아 배치하는 제조장치 배치법. 공정순서에 따라 배열되지 않기 때문에 운반하는 데 있어서 불리하지만, 웨이퍼처리공정과 같은 반복적이고, 택트가 다른 장치를 이용할 경우, 작업성, 공간적인 면에서 유리하다. 베이시스템(bay system)에서는, 각각의 베이에 같은 기능의 장치군을 배치하고 있어, 본 형식의 전형이 된다.
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청정세면기 클린수세기 - clean hand washer
청정실 안에서 사용되는 세면기. 수도에 손을 접촉하지 않고 조작할 수 있는 구조를 하고 있으며, 청정수가 사용된다.
