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순수(純水) - pure water

탈염장치로 처리된 고순도의 물. 조립공정에서는 비교적 순도가 낮은 순수가 절삭수(切削水), 세정수로써 이용되고 있다.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
소각장치 - incineration equipment

유기계 오염물질 또는 유기계 농후폐액을 소각하는 것으로 유기물 및 수분을 제거하여, 감용화 및 질의 안정화를 목적으로 하는 장치. 반응로의 구조에서 다단소각방식, 유동층방식, 분무소각방식 등이 있다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
백사이드데미지 - back side damage

외부게터링할 목적으로 Si 웨이퍼의 뒷면에 사이드블러스트법 등으로 균일하게 분포된 미소한 왜곡을 형성하여 포획 중심으로서 작용시키는 방법.

반/디 용어집 열처리용어 웨이퍼제공정
무정전전원장치 - uninterruptible power supply

잠깐의 정전도 허용되지 않는 부하에 전기를 공급하는 장치. 교류를 직류변환하여 축전지에 저장하고, 그 전기를 여럽너 교류로 변환하여 분화레 공급하는 방식이 많다. 교환장치는 정전압, 정주파수의 출력특성을 갖기 때문에 CVCF라는 약자로 쓰인다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
바디 - body

실제 사용되는 일정한 직경이 있는 영역. 일정한 직경의 결정을 성장시키고 있으므로 직동부(直胴部)라고도 한다. 현재는 직경을 검출하여 자동제어계에서 연속적으로 치수조정하고 있다.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
상압법 - atmosphere pressure method

결정성장용기 안에 불할성가스를 흘려, 결정성장할 때의 반응생성물을 배출시켜 청정분위기를 만들기 위해 분위기를 대기압으로 하는 방법.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
스토커 - stocker

핸들러에 의한 측정이 끝난 디바이스를 분류 캐비넷, 또는 매거진으로 보낼 때까지 일시적으로 대기시키는 기구부.

반/디 용어집 사공정 핸들링
에어락 - air lock

부유미립자관리구역에의 사람과 물건이 출입할 때, 그 구역에 압력을 유지하기 위해 설치된 특수한 기구. 보통은 출입하기 위한 개구부의 양쪽에 두장의 문을 설치하여, 동시에 개폐되지 않도록 되어 있다. 에어락기능을 갖는 작은 방(챔버)을 말하는 경우도 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
아베 오차 - Abbe error

치수측정장치를 이용한 측정계에 있어서, 피측정점이 측정축 위에 없을 때에, 피측정 대상을 이동시키는 수단(stage 등)의 진직도(眞直度)의 오차에 의해 발생하는 측정값의 오차. 측정축과 피측정점의 어긋난 양을 , 스테이지(stage)계의 진직도 오차(각도오차)를 θ로 놓으면, 근사적으로 sinθ가 된다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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