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미니플리츠형공기필터 - mini - pleats type air filter

실 또는 실모양의 수지를 분리기(separator)에 사용하여 여과재를 쪼개 넣은 공기필터. 대풍량을 얻기 쉬운 구조이다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
베이킹장치 - baking unit oven

웨이퍼를 가열하여 웨이퍼 표면의 수분을 탈수하기 위해, 도포공정, 또는 현상공정의 전후로 웨이퍼 표면에 도포된 레지스트를 가열처리하는 장치.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정
에너지오염 - energy contaminat - ion

에너지가 원하는 수치보다 낮은 이온의 총칭. 이온과 잔류기체(중성입자)의 충돌에 의한 전하의 교환으로 만들어진 이온과, 분자이온이 분리되어 만들어진 이온이 원하지 않는 에너지로 되어 웨이퍼에 주입되는 것.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
아이리드 - eyelid

청정실내 기류패턴의 조정, 자외선 차단 등을 목적으로, 천장에 매달려 밑으로 늘어선 패널. 파티션패널과 달리, 자유롭게 왕래할 수 있기 때문에 작업성 면에서 우수하다. 단지 미립자차단의 측면에서는 파티션패널과 커텐보다 열등하다. 청정실이 클 경우, 청정도영역구분에 이용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
식각웨이퍼 에칭웨이퍼 - etching wafer

식각 공정직후의 웨이퍼, 보통 래핑웨이퍼에 식각한 것.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼제공정
블레이드인장 - tensioning the blade

내주도식 절단기의 장력헤드에 ID 블레이드를 설치하며, 나사조임식 또는 유압식 등의 인장(잡아당김)방법으로, 그 블레이드에 적당한 인장량(반경의 인장량)과 블레이드 텐션을 확보하는 것. ID 블레이드의 내경(inner diameter)의 동심도(同心度)를 현미경 또는 다이아게이지 등으로, 확인하면서 잡아당겨 올린다.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
수변저설비 - electrical transmission and distribution systems

전력회사에서 전력을 공급받아, 각 전기부하를 전압종류별로 변환시켜, 이차측으로 전송하는 설비. 설비는 변압기 단로․과전류보호장치. 이차배선용차단기(breaker) 등으로 구성된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
수직축회전테이블형평면연삭반 - vertical spindle rotary table surface grinding machine

회전운동하는 원형 테이블을 가진 입축평면연삭반. (웨이퍼절단후의 평면연삭 또는 소자가 만들어진 웨이퍼의 뒷면연삭(back grinding)에 사용된다.)

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
엔드리스밴드톱 - endless band saw

얇은 링 모양의 대강 한쪽에 다이아몬드를 고착한 엔드리스밴드톱을 사용하여, 막대 모양의 재료를 절단하여 얇은 파을 제조하는 기계.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

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