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에너지절약설비 성에너지설비 - energy saving system

전기, 연료, 물 등의 에너지자원의 소비를 줄이기 위해, 열회수, 외기량의 감소, 반송동력의 저감, 설비용량의 최적화, 기기의 고효율화 등의 대책이 실시되는 설비. 러닝코스트(running cost)의 저감에만 국한되지 않고, 사회적책무도 포함된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
스월 - swirl

성장무늬(striation) 부근에서 발생하는 미소결함들을 말한다. 원기둥모양 결정의 주변부에서 발생하는 것은 결정에 포함되어 있는 미량의 산소의 응집에 의한 것이라는 것은 명백하지만, 중심부분을 점유하는 것은 산소라든가 탄소 등의 불가피적으로 포함된 미량불순에 의한 것인가, 고온에서 열역학적으로 유입된 격자결함이 냉각과 함께 응집된 것인가는 명확하지가 않다.

반/디 용어집 특성용어 검사
알고리즘

어떤 목적의 결과를 얻기 위한 산술적 수순.

통신 용어집
면봉 - swabs

봉 끝에 면을 둥굴게 말아 붙였으며 작은 부분을 닦아 소제하는 소도구. 봉 끝에는 면 이외에 접착테이프 등, 다른 재료를 사용하는 경우도 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
불산회수장치 - hydrofluoric acid regenerator

에칭, 세정 등의 공정에 사용된 짙은 농도의 불산폐액을 입자 모양의 탄산칼슘에 접촉시켜, 불화칼슘으로 변환시켜 회수하는 시스템. 반응식은 2HF+CaCO3=CaF2+CO2+H2O 회수된 불화캴슘은, 불산제조의 원료로써 사용할 수 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
소스 라우팅

토큰 링 간 브리지에 접속하는 경우 통신경로를 결정하는 방법. 통신에 앞서 상대편까지 도달할 수 있는 모든 루트에서 데이터를 보내 가장 빨리 응답이 돌아온 루트를 선택한다.

통신 용어집
여과기 - filter

도금액 중의 불순물을 제거하기 위하여, 활성탄으로 여과하는 장치.

반/디 용어집 조립공정 납처리장치
시스템 인티그레이터

유저의 목적에 적합한 컴퓨터나 네트워크 기기로 하나의 시스템으로 구축하는서비스를 하는 기업.

통신 용어집
서셉터 - susceptor

Si와 GaAs 등의 반도체 웨이퍼를 탑재하고, 고주파(高周波)유도, 히터 등으로 가열된 웨이퍼를 지지하는 기구의 총칭. 실제로 이용되고 있는 재질은 실리콘카바이트(SiC)로 코팅한 카본(C).

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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소스 라우팅

여과기 - filter

시스템 인티그레이터

서셉터 - susceptor

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