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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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인젝터 노즐 - injector nozzle

CVD장치, 에피텍셜 성장장치 같은 반응실 안에 가스를 공급해주고 배출하는 부분.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
이리듐사

이리듐 프로젝트를 수행하기 위해 설립한 회사. 1991년 6월에 시스템 구축과 운영을 위해 설립됐다. 초기비용 33억 7000만 달러의 출자자를 전세계적으로 모집해왔다.

통신 용어집
이물검사 랭크 - rank of detecting particles

검출된 이물의 크기의 분류.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
연삭홈형성대 - cross slide

공작물에 연삭홈을 주는 것으로 구조에 따라 공작축 아래 또는 연마기 아래에 있다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
이오나이저 - ionizer

침 모양 또는 가는 선 모양의 전극에 고전압을 인가하여 코로나방전을 일으키고, 주위의 공기를 이온화하여 대전물체 표면의 전하를 반대 극성의 이온으로 중화시키는 장치.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
인피드연삭 - infeed grinding

잘라내는 속도를 일정하게 하여 가공물을 반복하여 연삭하여 소정의 치수단위로 연속 연삭하는 것.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
이동도 - mobility

무질서한 운동이라던가 전기장과 외압을 주었을 때, 입자가 얼마나 쉽게 운동하는가를 나타내는 지표.

반/디 용어집 특성용어 검사
원심건조장치 스핀드라이어 - centrifugal drying equipment spin dryer

고속회전에 의한 원심력을 이용하여 물이 떨어뜨려 신속하게 건조하는 장치. 건조 내부를 스프레이 세정할 수 있는 기능을 갖는 것을 특히 린서드라이어(rinser dryer)라고 한다. 최근에는 웨이퍼와 카세트의 정전기를 제거하기 위해 이오나이저(ionizer)를 내장하는 것과 카세트에 넣은 웨이퍼 개수의 차이를 미리 검출하여 무게중심 위치를 자동 조절하여 회전진동에 의한 치핑(chipping)을 방지할 수 있도록 한 것도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
이더넷 프레임

이더넷에서 MAC 층 레벨의 데이터 프레임. 송신원의 MAC 어드레스, 송신선의 MAC어드레스, 상위 프로토콜의 데이터 등으로 구성한다.

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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