인덱스는 일반적으로 한 권의 책에 수록된 내용들 중 원하는 항목을 쉽게 찾아 볼 수 있도록 해 놓은 찾아보기, 색인이라는 뜻으로 해석되며 지수나 지표로 풀이되는 수학적인 용어이기도 하다. 컴퓨터 사용자들이 많이 사용하고 있는 범용 프로그램 중 데이터를 어떤 일정한 기준에 의해 보관함으로써 자료관리를 효율적으로 해 주는 프로그램이 있는데, 이러한 프로그램 내에서 원하는 형태의 배열과 찾아보기를 가능하게 해 주는 기능이 인덱스이다. 인덱스 기능은 보조기억장치에 저장된 파일 내의 레코드들에 대해 이들의 순서를 나타내기 위한 키값과 레코드 번호 등의 정보만을 따로 뽑아 수록한 인덱스 파일을 자동적으로 생성해 냄으로써 특정한 키값을 갖는 레코드들을 빠르게 검색해 볼 수 있게 한다. 한편 인덱스는 컴퓨터 주기억장치 내의 어떠한 상대적인 주소를 가리키는 값, 또한 그 값을 저장하는 레지스터를 일컫기도 한다. 또한 어떤 시스템의 성능을 가늠하는데 있어 각 분야의 평가 척도인 수치를 말하기도 하는데, 예를 들어 CPU 성능 지수, 디스크 엑서스 속도 지수 등이 바로 그것이다.
통신 용어집
온도경사 비율 - ramp rate
어닐장치 등의 가열장치에 있어서, 어닐대상물을 가열하여 원하는 온도에 도달할 때의 온도상승 및 하강속도
반/디 용어집어닐장치웨이퍼처리공정
이미지센서 검사장치 - image sensor test system
반도체 촬상소자(CCD 등)에 있어서, 전기적․광학적 특성을 측정하는 장치.
반/디 용어집사공정이미지센서 검사장치
이온주입 장치 - ion implanter
운동에너지를 갖고 있는 이온을 쏘아, 시료의 물성을 제어하기 위한 장치. 이온원․인출전극계(系)․질량분석계․주입실 등으로 구성된다.
반/디 용어집이온 주입장치웨이퍼처리공정
열압착와이어본더 - thermocom - pression wire bonder
온도, 하중 또는 이 둘을 가하고, 인가시간을 제어하여 와이어본딩하는 장치. 금속의 볼본딩에 사용된다.
반/디 용어집조립공정본딩
유리 기판 글래스기판 - glass substrate
평탄하게 연마된 판상의 유리로써, 금속박막이 형성되지 않은 상태의 포토마스크 제조용 기판. 소다(soda)․석회유리(limeglass)․알루미늄․폴리실리케이트 유리(polysilicate glass)․석영유리 등이 사용된다.
반/디 용어집마스크 블랭크 제조마스크제조공정
열원설비 - energy plant
공기조화설비. 위생설비, 유틸리티설비 등으로 냉각수, 냉수, 온수, 증기 등의 냉․온 열에너지를 공급하는 설비. 일반적으로 냉각탑, 냉동기, 보일러, 열교환기, 탱크, 펌프, 배관설비 등으로 구성되어 있다.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
열CVD장치 - thermal CVD system
CVD반응의 여기에너지(excitation energy)로써, 열을 이용한 장치의 총칭. 열의 발생원으로써 저항가열방식과 적외선램프 가열방식이 있다. 반응실 안의 가스압력에 의해, 상압CVD장치와 저압CVD장치로 구분된다.