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오리엔테이션플랫 정렬기 - orientation flat aligner flat orienter

플래틴에 웨이퍼를 탑재할 때, 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 또는 노치(notch)를 원하는 위치에 정렬하는 기기. 이 기기로 인해 이온주입할 때의 트위스트각을 결정하고, 웨이퍼틸트와 함께 이온이 웨이퍼로 입사하는 입사각을 결정한다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
자기중성선 방전 - magnetic neutral loop discharge

영구자석이나 전자석으로 진공 중에 링 모양의 제로자기장을 형성하고, 이 근방에 배치된 코일에 고주파전력을 인가하여, 링 모양의 플라즈마를 형성하는 방전 방식.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
유전위화 - first dislocation generation

현재 반도체기판에 사용하는 Si 단결정은 전부 무전위결정이다. 결정성장중에 무엇인가의 원인에 의해 전위가 발생하고 무전위성장이 멈출 수도 있다. 이 현상을 유전위화라 한다. 관용구로 DFNG, DF단절, DF붕괴등으로도 불리운다.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
이차이온질량분석법 SIMS - secondary ion mass spectro - scopy

수 keV～20keV 범위의 에너지를 갖는 일차이온을 시료표면의 미소한 점에 충돌시켜, 표면물질을 스퍼터이온화하여, 질량분석로 분석하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
온습도검출기 - temperature and humidity sensor

온도와 습도를 전기신호로써 검출하는 센서. 온도센서에는 온도측정저항체, 열전대 및 서미스터가 많이 이용된다. 습도센서에는 염화리튬의 수용액을 도포한 습도소자가 많이 이용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
위지윅 - WYSIWYG(What you see is what you get)

컴퓨터 화면에 나타나는 문자와 그림의 모양이 프린터로 인쇄된 문서의 모양과 똑같다는 것을 나타내는 말로 글자의 크기, 서체, 머리말, 꼬리말, 각주 등을 화면으로 볼 수 있다.

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워크스테이션 - workstation

워크스테이션은 32비트 CPU와 GUI(그래픽 사용자 인터페이스) 그리고 네트워크 기능이 삼위일체로 활용되는 컴퓨터를 말한다. 워크스테이션의 일반적인 특징을 살펴보면, 네트워크 접속에 적합한 하드웨어 구조와 대용량의 주기억장치 및 보조 기억장치, 가상 메모리를 확보하고 있는 32비트 컴퓨터에 멀티 태스킹을 지원할 수 있는 운영체제인 유닉스를 구비하고 있고, 탁월한 그래픽 기능의 구현이 가능한 고해상도의 컬러 모니터를 가지고 있다는 것이다. 워크스테이션의 규모와 가격은 PC 수준보다 높고 그 성능은 수십명이 동시에 사용하는 미니 컴퓨터와 수준이 비슷한데, 개인적으로 활용하여 각자의 업무를 진행할 수 있고, 그래픽 위주의 빠른 연산 기능이 가능하고 여러대의 워크스테이션을 연결할 수 있으며 네트워크를 통해 데이터를 서로 활용할 수 있다. 네트워크 환경은 PC처럼 단순하게 호스트와 단말기 사이를 수직관계로 구축하는 것이 아니라 수평적 위치에서 정보처리의 역할을 분담할 수 있다. 워크스테이션은 그 용도에 따라 사무용과 공학용으로 구분하는데, 사무용에는 CAD용 워크스테이션, 뱅킹 워크스테이션, 인텔리전트 워크스테이션 등이 있다. 공학용에는 분산처리 워크스테이션이 있다.

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이면테이퍼콜렛 - two sided channel collet

다이의 흡착면이 움푹 들어간 모양으로 2면이 테이퍼를 가지며,이 부분과 다이의 주변에 접속한 상태에서 다이를 이송시킬 수 있게한 콜렛. 많은 경우 스크러빙방향으로 테이퍼가 붙어있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
유틸리티 - utility

컴퓨터와 주변장치 또는 컴퓨터와 사용자간의 자료교환 등을 보다 용이하게 해 주는 프로그램을 '유틸리티(utility)'라고 한다. 유틸리티는 컴퓨터를 이용한 프로그래밍 또는 기타의 작업을 수행하는 과정에서 작업을 효율적이며 합리적으로 수행할 수 있도록 도와준다. 만약 디스켓의 파일들을 용도와 목적에 맞게 분야별로 정돈하고 싶다면 디스켓 관리 유틸리티를 이용하면 편리할 것이고, 순간의 실수로 귀중한 데이터나 파일을 삭제하였다면 데이터 복구 용 유틸리티를 이용하여 복구할 수 있다. 시중에는 DOS를 편리하게 이용할 수 있도록 도와주는 유틸리티들이 널리 보급되어 있는데 대표적인 것으로는 노턴 유틸리티(NORTON Utility)와 PCTOOLS 등이 있다. 이러한 DOS 지원 유틸리티들은 컴퓨터에서 가장 많이 사용하고 있는 DOS의 명령어 외에도 디스크 관리 및 데이터 복구 등의 기능을 제공한다.

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

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탄성계수 - elastic modulus

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