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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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경사입사간섭계방식 - grading incidence interferometer method

측정하려는 물체 표면에 대해 프리즘 등을 사용하여 빛을 비스듬하게 투사하여, 이 반사광과 기준(reference)면에서의 반사광으로 형성된 간섭무늬에 의해, 표면의 평탄도(flatness), 휨를 측정하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
건조호닝장치 - dry powder horning machine

수지 플래시와 레진찌꺼기를 건식연마재로 제거하는 장치. 리드프레임의 공급, 브래스트, 니어블로우, 수납장치로 구성되어 있다.

반/디 용어집 조립공정 마무리
고주파본딩 - high frequency ultrasonic bonding

90kHz 이상의 높은 주파수의 초음파진동을 이용한 접합방식. 초음파주파수로써는, 90kHz, 120kHz, 190kHz 등이 사용되고 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
농축수 - concentrate brine

역침투막을 이용하여 수중의 불순물과 물을 분리할 때에, 막에 투과시키지 않고 불순물을 농축한 형태로 나오는 물. 수질에 따라 다르지만 급수량의 10～30%정도의 양이 된다.

반/디 용어집 concentrate brine 설비․환경공정
감압배기시스템 - exhaust system

실린더캐비넷과 장치진공배기펌프 등의 특수재료 가스누설이 예측되는 곳을, 블로워(blower) 등으로 상시 감압하여 배기하는 시스템. 특히 특수고압가스용 실린더캐비넷에 있어서는, 본 시스템의 설치가 의무적이다. 또, 습식처리장치(wet station)등에도 사용되고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
거시적결함 - macroscopic defect

패턴 치수로 비교할 때, 충분히 큰 다이 결함. 패턴의 찌그러짐, 큰 위치 부정합 등이 있다.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
갈바노미터스캐너 - galvanome - ter scanner

미소한 전류에 의해 구동되는 소형․고속의 모터로 회전자에 반사경을 붙여 레이저 빛의 방향을 원하는 위치로 바꾸어 주는 역할을 한다. 보통 X, Y 한 쌍이 한 세트를 이룬다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
고체증발원 - solid vaporizer

이온을 발생시킬 때, 이온원에 편입되어 이용되는 고체시료용 증발원. 시료는 히터에 의해 진공 중에서 수백。C로 가열되어, 증기로 된 플라즈마가 생성될 때에 도입된다. 주로 안전성의 관점에서 독성가스를 대신하여 사용되는 경우가 많다.

반/디 용어집 이온 주입장치 고체증발원
격자간산소 - interstitial oxygen

실리콘의 결정격자 사이의 공간에 존재하는 산소. CZ법으로 성장한 실리콘 단결정 중에는 1018개/㎤정도의 산소가 함유되어 있다. 이것들은 격자간에 존재하고 있다. 이것에 대하여 실리콘 단결정 속에 포함된 탄소는 실리콘원자와 치환되어 존재하는 것이므로, 치환형 탄소라고 한다.

반/디 용어집 격자간산소 특성용어

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

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