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마킹광학계 - marking optics

레이저마커의 광학계 전체. 레이저빔의 도입광학계 및 마스크 형상을 만드는 렌즈로 이루어진 광학소자, 마스크, 피가공물을 도입시킨 출사(出射)광학계 및 마스크 상의 피가공물 위에 결합시킨 결상렌즈로 구성되어 있다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
레이저스폿 - laser spot

레이저빔을 하나로 모아서 조사할 때의 집광(集光)시킨 조사점. 결상광학계를 이용한 경우는 결상점을 가리킬 때도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
마우스홀 - mouse hole

소자패턴의 단차부(step)에 박막을 형성시킬 때, 측벽과 평면의 막질이 달라서, 이후의 식각공정에서 부분적으로 높은 속도로 식각이 진행되어 발생하는 벌레먹은 모양의 구멍

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
루프형상 - loop shape

2점간을 접속할 때, 활 모양으로 형성된 본딩와이어의 모양.

반/디 용어집 조립공정 본딩
검사수정장치 - pattern defect inspection and repair system

기판 위에 형성된 패턴의 치수와 결합의 유무를 검사하고, 결함이 있을 경우, 이 결합을 수정하기 위한 장치의 총칭. 치수측정장치․결함검사장치․결함수정장치 등이 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
랭크마킹 - rank marking

반도체소자 등의 전기적 특성을 측정하여, 측정결과에 대응되는 랭크기호를 마킹하는 것. 일반적으로는 레이저마커에의 회전마스크방식, 또는 마스크문자선택방식이 이용되고 있다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
5.1 채널

돌비디지털, DTS, 그리고 대부분의 SDDS 필름 사운드트랙을 코드화할 때 사용하는 채널의 수. 5채널은 전면의 좌, 우 스피커와 센터 스피커, 그리고 좌, 우 서라운드 스피커, “1”은 저음의 효과음 전용채널을 가리킨다.

통신 용어집 5_1-채널
로터리테이블 원형테이블 - rotary table circular tabel

주로 연속회전하면서 절삭하는데 사용하는 원형 테이블.

반/디 용어집 기계가공 rotary table circular tabel
매거진 - magazine

본딩디바이스를 공급하고 수납하기 위한 용기. 로더, 언로더에 수납된다.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통

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