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고주파전원 - RF generater

플라즈마방전의 여기용으로 사용되는 전극. 발진주파수로서는 13.56MHz가 가장 많이 사용되고 있다. 보통 매칭기기가 같이 사용된다.

반/디 용어집 건식식각장치 고주파전원
동축케이블

중심은 동선이며, 그 주위를 도체로서 동심원 형태로 싼 케이블. 굵기나 인피던스 등에 따라 여러 종류가 있다.

통신 용어집 동축케이블
마킹 - marking

패키지의 표면에 문자와 기호를 기입하는 것. 잉크를 사용하는 잉크마킹과 레이저가공에 의한 레이저마킹이 있다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
개별피치정밀도 - individual pitch accuracy

서로 이웃한 다이 중심점간 거리의 설계값과 기판 위의 묘화된 실제 거리와의 차이

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
리소그래피 시뮬레이션 현미경 - lithography simulation microscope

스테퍼에 이용되는 노광파장, 개구수, 동조성(coherent factor), 디포커스양 등을 설정하여, 실제로 포토마스크를 통과한 빛을 검출하는 것을 가지고, 웨이퍼 뒤에 마스크 패턴 투사상(投射像)의 강도분포를 시뮬레이션할 수 있는 현미경. 마스크 패턴과 결함의 전사(轉寫)특성을 평가하는 데 이용된다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
도고모 그룹

일본의 통신서비스회사. 전국의 9개 영업지역에서 1회사씩 서비스를 제공하고 있다. 그 중 관동을 영업범위로 하는 NTT도고모(NTT이동통신망)는 나머지 지역 8회사의 주요 주주회사도 겸하고 있어 중앙회사라고도 부른다.

통신 용어집 도고모 그룹
데이터분리시험 - data separation test

HDD/FDD 등의 디바이스에 디스크에서 읽어들인 데이터를 데이터펄스와 클럭펄스로 분리하고, 이 신호들을 이용하여 데이터의 1, 0, 클럭재생 및 지터를 측정하는 것.

반/디 용어집 사공정 혼합형 디버그장치
도즈 - dose dosage

레지스트의 노광에 필요한 단위면적당의 전하[μC/㎠] 노광량[mJ/㎠]

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
멀티배드톱 - multi band saw

여러 장의 얇은 대강을 왕복운동시켜, 막대 모양의 재료를 여러 장 동시에 절단하여 얇은 판을 제조하는 기계. 고정 연마입자에 의한 것과 유리입자에 의한 것이 있다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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