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가속전압 - acceleration voltage

인출전극으로 가속된 이온에, 원하는 이온에너지를 주기 위한 가속관에 인가되는 전압. 이온에너지와 가속전압과 인출전압의 합, 그리고 이온이 몇 가 이온인가에 따라 결정된다.

반/디 용어집 이온 주입장치 acceleration voltage
기류속도 - airflow velocity

일방향류형 청정실에 있어서, 일방향류를 형성하는 공기의 속도. 입자오염물의 배출능력 열기류의 영향저감, 에너지절약 등을 고려하여, 일반적으로, 기류속도는 0.25～0.5m/s가 이용된다.

반/디 용어집 청정실 airflow velocity
글로벌정렬 - global alignment

스텝식 투영노광장치에 있어서, 위치정보에 의한 추정계산을 토대로 하여, 웨이퍼스테이지를 노광위치로 이동시키는 정렬방식.

반/디 용어집 글로벌정렬 global alignment
거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 - laser surface scanner light scattering measurement system

웨이퍼 표면에 레이저 등의 빛을 조사하여, 웨이퍼 표면의 이물과 미립자의 크기, 밀도분포 등을 측정하는 장치. 특히 표면에서 500㎚정도의 깊이까지 존재하는 결정결함의 측정도 가능한 장치를 LSM표면검사장치라 한다.

반/디 용어집 거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 검사
드라이브 - drive

컴퓨터의 주기억장치에 사용되는 기억소자의 일종이다. DRAM은 콘덴서의 전하 충전 기능을 이용하여 데이터를 기록하므로 전원을 끄지 않아도 일정한 시간이 경과하면 콘덴서에 충전된 전하가 서서히 방전되어 RAM에 기억된 내용이 소멸된다. 따라서 수 ms(mili second: 1/1000초) 마다 똑같은 데이터를 써넣는 동작이 필요하며 이러한 동작은 자동적으로 수행되도록 회로가 구성되어 있다. DRAM은 SRAM(Static Random Access Memory)에 비하여 회로가 간단하고 소비 전력이 적으며 동작 속도가 빠르고 집적도가 높으며 가격이 저렴하기 때문에 대용량 기억장치에 사용되는 경우가 많다.

통신 용어집 동적 램 DRAM
라우팅

라우터 등에 의해 실현되는 통신 데이터의 중계경로 선택기능.

통신 용어집 라우팅
링상태 알고리즘

라우팅 프로토콜에 사용하는 최적경로 선택기술. 네트워크 전체의 링상황을 모니터하는 것으로 어느 경로가 최적인지를 판단하는 방식. IP용 라우팅 프로토콜인 OSPF가 채용되고 있다.

통신 용어집 링상태 알고리즘
리테이너링 - retainer ring

웨이퍼가 연마중에 이탈하는 것을 막기 위한 장치

반/디 용어집 웨이퍼제공정 retainer ring
극성반전 포토마스크 - reverse polarity photomask

막(膜)의 면을 아래에서 볼 때, 패턴 쪽으로 향한 면이 원화와 동일한 배치이며, 흑백관계가 거꾸로인 마스크를 가리키는 그림의 (a)와 (c) 그리고 (b)와 (d)의 관계가 이것에 해당된다.

반/디 용어집 기본․공통 reverse polarity photomask

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