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감압탈기포 침적식 식각장치 - evacuated wet etching system

화학식각으로 발생하는 수소의 기포를 제거하기 위해 식각수조를 밀폐하는 것과 함께 내부공기를 배기(排氣)할 수 있도록 하는 장치.

반/디 용어집 감압탈기포 침적식 식각장치 웨이퍼 식각장치
고온판오븐 - hot plate oven

표면처리를 실시한 평탄한 금속판 위에 웨이퍼를 가열하는 장치. 금속판의 아래에는 히터가 부착되어 있고, 주변에는 배기구멍을 가지고 있는 것이 일반적이다.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정
개방순환식냉각수설비 - open circuit condensing (cooling) water system

냉각탑 또는 열교환기에 의해 냉각된 냉각수를 송수펌프로 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에는 수수(受水)조로 개방시켜, 환원펌프로 귀환시키는 송수방식의 냉각수설비. 피냉각대상물에 배압이 가해지지 않고, 시스템의 최고압력도 낮게 된다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
검출분해능 - detection resolution

결함과 이물의 크기가 식별가능한 최소값

반/디 용어집 기본․공통 검출분해능
2상3탑형순수장치 2B3T형 순수장치 - two bed three tower deionizing equipment two bed tree tower demineralizing equipment

양이온(cation)교환수지탑, 탈탄산탑 또는 진공탈기탑 및 음이온(anion)교환수지탑으로 구성된 복상식순수장치.

반/디 용어집 2상3탑형순수장치_2B3T형_순수장치 설비․환경공정
결정방위 - crystal orientation

결정축을 기준으로 하여 미러 지수 또는 미러-브라웨지수로 나타나는 결정고유의 방향.

반/디 용어집 기본․공통 결정방위
광대역 전송 - Broadband Distribution

복수 TV, 음성, 데이타 채널의 단일 시스템 전송. 광대역커뮤니케이션 네트워크(Broadband Communication Network) 또는 광대역 커뮤니케이션(Broadband Communication)이라고 부른다.

통신 용어집 Broadband Distribution 광대역 전송
고주파 플라즈마 CVD장치 - RF plasma enhanced CVD system

저압상태에서, 반응성가스의 고주파 글로우방전분해에 의해 박막을 형성하는 CVD장치. 반응실의 외측이나 내측에 설치된 대향전극 사이에 고주파를 걸어 플라즈마를 발생시키는 용량결합형 플라즈마CVD장치와, 석영반응관의 외측에 감긴 코일에 고주파전압을 걸어 플라즈마를 발생시키는 유도결합형 플라즈마CVD장치가 있다.

반/디 용어집 CVD 장치 고주파 플라즈마 CVD장치
고정연마입자 - bonded abrasive

결합제 등으로 대금 등에 접착 고정된 연마입자 및 비트리파이드 연삭연마기 등의 유형연마기에 사용되는 입자형태의 총칭.

반/디 용어집 기계가공 고정연마입자

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

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최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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고정연마입자 - bonded abrasive

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