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공기조화설비 - air conditioning system

공간의 온도, 습도, 먼지, 가스성분, 냄새, 압력, 풍속, 기류의 모양 등의 환경공기조건을 목적에 부합시켜 조화시키고 관리하는 설비. 일반적으로 공기조화기, 패키지형조화기, 팬코일유닛, 송․배풍기, 덕트 설비 등으로 구성되어 있다.

반/디 용어집 청정실 air conditioning system
가상현실 - VR(Virtual Reality)

사람이 시각, 청각 등을 자유롭게 느낄 수 있도록 인공적인 상황을 컴퓨터 공간에 구현해 실제의 상황이 아니면서도 실제로 그러한 상황이라고 느낄 수 있도록 하는 것을 말한다. 이러한 가상현실은 비행훈련기인 플라이트 시뮬레이션, 자동차 모의실험 등에 많이 쓰인다.

통신 용어집 VR 가상현실
딥현상장치 - dip developer

현상액 중에 웨이퍼를 침적시켜, 웨이퍼를 진동시키거나 현상액을 휘저어, 균일하게 현상처리하는 장치. 온도 및 액체의 농도 등의 관리를 통하여, 편하게 성능을 업그레이드(upgrade)하는 것이 연구되고 있다.

반/디 용어집 딥현상장치 웨이퍼처리공정
각형컷 - square cutting

웨이퍼의 외주에 관계없이, 일정한 절삭 스트로크로 컷팅하는 방식. 원형컷에 비해 쓰루풋 늦다.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
내열성한외여과막 - hot water resistant ultrafiltration membrane

열수살균 또는 증기살균이 가능한 한외여과막. 막재질로써는 폴리술폰, 폴리에테르술폰 등이 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
냉각 스테이지 - cooling stage

어닐 후의 웨이퍼를 원하는 온도까지 냉각하기 위한 스테이지. 석영을 이용한 수냉판(水冷板) 또는 직접진공을 흡입하는 방법 등이 있다.

반/디 용어집 냉각 스테이지 어닐장치
레지스트레이션 검사 - registration inspection

각 포토마스크간 패턴의 상대위치정밀도를 측정(비교검사). 일반적인 디바이스(IC)에 대해 십수 매(枚) 이상의 포토마스크를 필요로 하기 때문에, 각 마스크의 중복 정밀도가 중요하게 된다. 종래에는 비교현미경(마스크비교기)이 사용되어 오다가, 현재에는 패턴의 좌표위치를 절대측정하는 광파간섭식 좌표측정기가 사용되고 있다.

반/디 용어집 검사장치 registration inspection
단위보정 - line width control

패턴 데이터 위의 선폭과 마스크 위에 형성된 패턴의 선폭의 차이를 보정하는 것으로, 패턴 데이터 자체를 보정하거나, 노광, 공정조건의 제어를 통해 보정하는 것.

반/디 용어집 노광․묘화장치 line width control
다이나믹로드 프로그래머블로드 액티브로드 - dynamic load programm - able load active load

기능검사 중에, 피측정디바이스의 출력상태에 따라 부하조건을 변화시키 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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