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레지스트 내열성 - resist thermal stability

웨이퍼 위에 레지스트 패턴을 형성할 때, 이 패전의 단면 형상이 이후의 열에 의해 어느 정도 초기의 상태를 유지할 수 있는냐를 표시하는 것. “내열성이 좋다, 내열성이 있다, 내열성이 높다”하는 것으로 고온까지 패턴 형상이 보존된다는 것을 표시한다.

반/디 용어집 베이킹장치 resist thermal stability
디바이스 프로그램 테스트 프로그램 - device program test program

시험장치를 이용하여 디바이스시험을 하기 위하여 필요한 하드웨어의 설정 및 소프트웨어의 처리 등에 있어서의 장치고유의 언어로 만들어진 테스트 프로그램.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
도포장치 - coater

레지스트 처리장치 중에 웨이퍼에 레지스트를 도포하기 위한 장치. 처리방법은 스핀방식이 대표적이다.

반/디 용어집 coater 웨이퍼처리공정
디싱 - dishing

탄성연마포를 사용하여 연마하는 경우, 평탄화하려는 굴곡부분만이 아니라, 평탄한 부분도 연마 중에 제거되어 접시 모양의 웅덩이를 만드는 것.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 디싱
도형표시장치 - display

디스크란 프로그램이나 데이터가 컴퓨터의 메모리 내에서 더 이상 사용되지 않을 때 이것을 보관하기 위해 사용하는 일종의 컴퓨터 창고라고 할 수 있다. 즉, 어떤 프로그램이나 데이터를 사용하다가 다른 일을 처리해야 한다거나 따로 저장할 필요가 있을 때 현재 사용중인 프로그램을 보관하기 위해 사용하는 보조기억장치이다. 이것은 마치 우리가 필요한 일들은 메모지나 공책에 적어 기억하는 것과 같다고 할 수 있다. 즉, 우리의 기억력라는 것은 편리하기는 하지만 기억할 수 있는 일과 시간의 한계가 있기 때문에 종이라든지 공책이라는 보조 기구를 이용하여 잊어서는 안될 중요한 일들을 메모해 둔다. 마찬가지로 컴퓨터에서도 오래 보관해야 하는 자료나 데이터는 보조기억장치라는 것을 따로 사용하여 보관한다.(여기서 메모지나 공책에 해당하는 것이 바로 보조기억장치이다.)

통신 용어집 disk or diskette
매크로 - macro

매크로란 여러 개의 명령문을 하나의 명령어로 간단하게 묶어 사용할 수 있도록 하는 기능으로 프로그램을 작성할 때 같은 명령을 여러 번 사용해야 하는 상황에서 많이 쓰이고 있다. 매크로는 종종 함수와 비교되기도 하는데, 함수로 짜여진 프로그램은 기계어로의 번역시 함수가 사용된 위치에서 단 한 번 번역되므로 메모리를 절약할 수 있으나, 메크로로 짜여진 프로그램은 매크로를 부르는 위치마다 번역되어 메모리를 많이 차지하는 단점이 있다. 그러나 프로그램의 실행시 함수는 번역되어진 곳까지 제어를 이동 시켜야 하나 메크로는 그대로 순차적으로 실행해 나가면 되므로 실행 시간을 줄일 수 있다. 그러므로 이 메크로는 메모리를 좀 차지하더라도 빠른 시간안에 처리를 해야하는 프로그램 즉, 시스템 프로그램과 같은 프로그램에서 많이 쓰이고 있다.

통신 용어집 매크로 macro
레이저 CVD장치 - laser assisted CVD system

레이저광의 에너지로 기체분자를 분해하고, 저온으로 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 CVD장치. 레이저의 파장에 따라 자외선레이저(전자여기)CVD장치와 적외선레이저(진동여기)CVD장치로 구분된다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
고속 디지털 가입자선로 - HDSL

HDSL(High-data rate Digital Subscriber Line)은 고속 디지털 가입자선로라는 뜻으로 기존 가입자 전화선로를 이용해 별도의 중계장치 없이 T1(1.544Mbps)이나 E1(2.048Mbps)급의 고속전송을 가능하게 해주는 장비를 말한다. HDSL은 주문형 비디오의 일종인 VDT서비스 등에 필요한 핵심기술로 구리선을 통해 E1(2.048Mbps)까지 전송할 수 있다. HDSL(고속DSL)은 2개의 구리 회선을 이용하는 SDSL과 다르게 데이터 속도가 같은 대칭형이어서 T1(1.544M)/E1(2.048M)급 전용회선 서비스에 이용되며 광케이블을 통해 T1/E1급 전용회선을 구축하는데 소요되는 시간과 인력을 훨씬 줄일 수 있다는 장점이 있다.

통신 용어집 고속 디지털 가입자선로 HDSL
마이크로 프로그램 - micro program

하드웨어의 기본적인 제어조작을 기계고유명령으로써 기술한 프로그램. 레지스터, 가산기. 각종 논리회로로 구성된 패턴발생기, 연산기 등에 이용된다.

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