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거울직진도 보정 - mirror bow compensation

레이저 간섭계를 이용한 측정기 등에서의 이동거울의 평면각도를 구해 측정기의 측정결과를 보정하는 것.

반/디 용어집 검사장치 거울직진도 보정
고풍속번인장치 - high wind velocity system

고발열의 디바이스를 번인하는 장치로서, 고풍속의 바람을 흘려서, 자기발열에 의한 디바이스의 자기파괴를 방지한다.

반/디 용어집 사공정 고풍속번인장치
노광제어계 - exposure control system

노광을 위한 제어계. 패턴데이터의 전송수단․기억수단․데이터변환수단(실시간)․묘화패턴의 발생수단 등의 하드웨어 및 이것들을 총괄 제어하는 소프트웨어로 이루어져 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 노광제어계
다결정 폴리크리스탈 - polycrystal

결정구조 주기가 부분적으로만 유지된 결정. 작은 결정의 집합체. 결정성장에 사용하는 소재.

반/디 용어집 결정성장 다결정 폴리크리스탈
광파이버 케이블

광신호를 전송할 수 있는 머리카락 크기의 세밀한 유리섬유. 광을 전파하는 코어가 중심에 있고 그 주위를 크랫도가 동심원 형태로 싸고 있다.

통신 용어집 광파이버 케이블
대역용융법 - zone melting method

존레벨링(zone leveling), 존 정제 등으로, 평형에 가까운 상태를 유지하는 재료의 일부만을 용해시킨 존(zone, 대역)으로 하고, 이것을 이용하여 정제하면서 단결정을 만드는 방법. 존 멜팅(zone melting)법이라고도 한다. 현재는 많은 화합물반도체결정의 제작에 사용되고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
고전압리소그래피 - high voltage lithography

비교적 에너지가 높은 전자빔(보통, 50KV 이하)을 이용하여 패턴을 묘화하는 것. 레지스트 내에서의 전자빔의 산란효과를 감소시키기 위한 해상도가 높은 레지스트 상을 형성할 수 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
더미사이클 - dummy cycle

IC의 기능검사에 있어서, 피측정디바이스의 측정에 직접적으로는 의미가 없는 테스트사이클.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
공정복합화 - process integration

공정개발에 대한 투자억제를 고려한 결과, 반도체제조장치내에 일정한 조건과 환경에서 몇 개의 공정을 연결하고 처리를 반복해, 같은 웨이퍼 위에서 여러 공정을 하는 것으로 생산효율을 높이는 기술. 예를들어, in-situ에서 식각과 스퍼터링 등의 일련의 처리를 시행하면서 회수하는 멀티챔버장치 등이 권장되고 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

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감쇠비 - damping ratio

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