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2극 스퍼터링 장치 - diode sputtering system

두 개의 음극과 한 개의 양극으로 된 2극음극 글로우방전구조를 갖춘 스퍼터링장치. 음극은 타겟에 해당되며, 양극은 웨이퍼홀더를 겸하고 있다. 글로우방전을 발생시키기 위해, 전극간에 직류전압을 걸어주는 직류2극 스퍼터링과 13.56MHz의 고주파 전압을 걸어주는 고주파2극 스퍼터링장치가 있다. 후자는 절연체도 스퍼터링을 할 수 있다는 것이 특징이다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
네트워크 OS - NOS

NOS. 네트워크에서 사용하는 오퍼레이팅 시스템. 서버용과 클라이언트용 소프트웨어가 필요하다. 노벨의 NetWare 등이 유명.

통신 용어집 네트워크 OS NOS
단면균열 - radical temperature uniformity

열산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 반응로의 임의의 단면에서 온도분포의 균일성. 단면온도의 균일성은 웨이퍼의 면내온도균일성에 직결되기 때문에, 예를 들어 CVD막 성장에서는 최고로 중요한 요소중에 하나이다.

반/디 용어집 산화장치 단면균열
디마운트장치 - demounting machine demount station

연마가 끝난 후 세라믹과 글래스 블레이드에 왁스로 부착된 웨이퍼를 얇은 칼 등으로 떼어내, 컨베어와 워터슈터(water chuter)로 카세트에 자동적으로 넣는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 디마운트장치
레이저빔 검사장치 레이저빔 프로버 - laser beam test system laser beam prober

반도체디바이스의 표면에 레이저빔을 조사하는 것에 의하여 외부단자에 표시된 OBIC(광여기전류)에 의하여 피측정디바이스의 내부의 동작을 해석하는 장치.

반/디 용어집 사공정 레이저빔 검사장치
100BASE - X

FastEthernet이라 불리는 100Mbps의 이더넷. 기존의 이더넷과 같이 CSMA/CD(충돌검지)방식을 채용하고 있다.

통신 용어집 100BASE-X
다이아몬드휠 - cup shaped diamond grinding wheel

평면연삭용 스트레이컵형 휠로, 단면과 바깥둘레의일부에 다이아몬드입자를 접착시킨 연삭휠. 실리콘 잉곳연삭, 오리엔테이션플랫연삭, 웨이퍼연삭 등에 사용한다.

반/디 용어집 기계가공 다이아몬드휠
기준 감도 (基準感度) - Reference Sensitivity

수신 감도란, 규정 출력을 얻기 위한 수신기 입력 전압이라 할 수 있다. 따라서 입력 전압이 작은 상태에서 규정 출력을 얻을 수 있으면 그 수신기는 감도가 우수한 것이다. 기준 감도란 신호 대 잡음비, 수신기 대역폭, 변조도 및 신호원의 임피던스 등을 규정한 값에 대한 최대 사용 감도로 정의된다. 즉 수신기의 음성 출력이 기준값의 50%인 조건에서 신호 대 잡음비(signal to noise and distortion ratio : SINAD)가 12dB로 되는 표준 변조시의 무선 주파수 신호 레벨이다.

통신 용어집 Reference Sensitivity 기준 감도
고주파 워크코일 - radio frequency workcoil

Si, GaAs 등의 반도체 웨이퍼를 가열할 때에, 이것들을 탑재하는 피가열물체(서셉터)를 가열하기 위해 근방에 배치된 유도코일. 유도코일에 고주파전력을 인가해, 도체인 피가열물체에 전자유도로 발생하는 과전류로 발생하는 열을 이용한다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정

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