엑시머 레이저 등 가우시안 분포를 하는 빔프로필을 전범위에 걸쳐 균일한 빔 강도로 분포하게 하는 광착장치. 광학 줌(zoom)식에 의해 대형 균일빔을 얻을 수 있어, 레이저 어닐장치 등에 장착되어 있다.
반/디 용어집어닐장치웨이퍼처리공정
고압분사 세정장치 고압제트 스프레이 - high pressure jet spray
노즐에서 강한 압력으로 액체세정제를 고속으로 분출시켜, 이 힘으로 표면 이물을 박리시켜 씻어서 흘려 없애는 장치.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
금형온도 - mold temperature
수지를 성형할 때, 가열하여 사용되는 금형의 온도.
반/디 용어집패키지조립공정
금속 CVD - metal CVD
금속화합물을 열분해하여 금속막을 만드는 CVD법. 미세패턴의 배선, 구멍매립, 평탄화를 위해 선택W CVD, 전면W CVD법(blanket W CVD)가 실용화되고 있다. 또, 배선재료로써 비저항이 작은 Cu유기화합물을 소스로 하는 Cu CVD가 있다.
반/디 용어집CVD 장치웨이퍼처리공정
고압전자현미경법 HVEM - high voltage electron microscopy
가속전압이 보통의 전자현미경의 40~100kV에 대하여, 106V정도의 전자현미경. 시료투과율의 향상, 시료손상의 경감, 이론적 해상도의 향상 및 효과적으로 암시야(暗視野)조작 등이 가능하다.
반/디 용어집물성검사장치검사
납도금 - solder plating machine
리드프레임을 납도금하는 장치. 전해탈지, 순수세정, 활성화, 산세성(酸洗淨) 등으로 전처리공정과 도금공정 및 수세중화, 순수세정, 순탕세(純蕩洗), 건조 등의 후공정장치로 구성된다. 각공정에서의 리드프레임의 취급방법에 따라, 옷걸이식(crack, hanger)납도금, 배럴(barrel)식납도금, 타레트식납도금, 연속라인식납도금 등의 방법이 있다.