웨이퍼의 단면을 연마재(slurry)를 공급하면서, 크로스와 버프 등의 연마부재로 웨이퍼 거울면으로 연마하는 장치. 버프의 모양은 원판, 외통, 내통 등 여러 가지가 있다. 연마재부착래핑필름을 사용하여 연마하는 방법도 있다.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
냉각수설비 - condensing water system cooling water system
냉각탑, 열교환기, 송수펌프, 배관설비 등으로 구성되며, 반도체제조장치, 공기, 물 등을 냉각수를 이용하여 냉각하는 설비. 밀폐순환식, 개방순환식, 일과식 등의 송수방식이 있다.
반/디 용어집초순수장치설비․환경공정
다이쉐어테스터 - die shear tester
다이본드의 접합강도를 시험하는 장치. 접합된 다이를 잡아떼내는 데 필요한 힘을 측정한다.
반/디 용어집조립공정검사평가
라스터스캔 - raster scan
빔을 일정 폭에 일정 방향으로 주사(走査)하여, 패턴 데이터에 대응하는 빔을 온-오프시키는 것에 의해 패턴을 형성하는 묘화 방식
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
결함검사 장치 - pattern defect inspection system
기판 위에 형성된 패턴의 결함의 유무를 검사하는 장치. 데이터 비교에 의한 검사방식과 패턴 비교에 의한 검사방식이 있다.
반/디 용어집결함검사장치검사장치
동기 분리 회로(同期分離回路) - Synchronizing Separator Circuit
TV 수상기에서 복합 영상 신호로부터 동기 신호를 분리하기 위한 회로. 분리하는 방법은 먼저 진폭 분리를 한 다음 영상 신호와 동기 신호를 분리하고 다시 주파수 분리에 의해서 수평 동기 신호와 수직 동기 신호를 분리한다.
통신 용어집Synchronizing Separator Circuit동기 분리 회로
레지스터 - register
컴퓨터에서 계산이나 연산과 같은 작업을 간편하게 처리하기 위해서 비트나 문자로 된 정보를 하나 또는 그 이상 임시로 저장하는 장치를 레지스터(Resister)라고 한다. 만약 우리들이 속셈을 이용하여 (50-25) + (20-15)라는 계산식의 값을 구하려면 다음과 같은 절차를 밟게 된다. 1 (50-25)를 계산하여 25라는 값을 알아 낸다. 2 계산값 25를 머리 속에 잠시 기억해 놓는다. 3 (20-15)를 계산하여 5라는 값을 알아 낸다. 4 계산값 5 역시 머리속에 임시로 기억해 놓는다. 5 이제 1에서 기억해 놓은 25와 4에서 기억해 놓은 5를 더하여 정답 30을 알아낸다. 정답을 알아내기 위해서 우리는 25와 5라는 수치를 머리 속에 잠시 기억해 놓았다. 컴퓨터에서도 계산을 처리할 때 이와 같이 임시로 정보를 저장하는 장소가 필요한데, 이 장소가 바로 레지스터이다. PC의 경우 레지스터는 일반적으로 마이크로 프로세서의 내부에 위치하고 있다. 한편 레지스터는 정보를 저장하기 때문에 램이나 롬과 같은 기억장치인 것 같지만 극히 적은 정보를 임시로 기억하기 때문에 기억장치로 보지 않는 것이 일반 견해이다. 저장하는 정보의 종류 또는 작용에 따라 레지스터는 여러가지로 분류되는데 계산 및 논리 연산의 결과를 임시로 기억하는 레지스터를 누산기라고 하며, 기억 번지나 장치의 번지를 기억하는 레지스터를 번지 레지스터라고 한다. 이외에 뎃셈으로 더한 수 또는 곱셈으로 곱한 수등을 저장하는 산술 레지스터, 현재의 동작에 이어 다음 단계에 수행할 명령어의 번지를 갖는 제어 레지스터 및 상황에 따라 누산기나 기억 레지스터 또는 번지 레지스터의 기능을 수행할 목적으로 사용되는 범용 레지스터등이 있다.
통신 용어집레지스터register
게터링 - gettering
소자특성에서 유해한 영향을 주는 불순물, 중금속 또는 결함에 관여하고 있는 점결함 등을 제거하는 작용. 게터링을 하면, 웨이퍼표면의 소자영역에 소자를 형성할 때 청정화되어 결함을 줄이고, 소자특성과 소자제조의 효율을 향상시킬 수 있다.