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웨이퍼정렬 - wafer alignment

웨이퍼를 미동(微動)조정하는 정렬, 또는 장치에 고정된 기준으로 웨이퍼를 위치정합하는 것.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
웨넬트 그리드 - Wehnelt grid

전자총의 구성요소 중 하나로써, 전자의 방사량(에미션 전류)을 제어하고, 전자를 빔의 형상으로 집속시키기 위한 전극. 캐소드에 대해 수백 V의 마이너스 전압(바이어스 전압)이 인가된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
열처리로 - heat treatment furnace

잉곳(ingot) 또는 웨이퍼를 열처리하기 위한 장치. 결정직경의 증대와 함께 웨이퍼 상태에서의 열처리가 주류를 이루고 있다. 저항가열히터와 노심관을 가로로 배치한 수평형로과 노심관 및 저항가열히터를 세로로 배치한 수직형로가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 열처리
웨이퍼 이물검사 - inspection of dust particle on wafer

웨이퍼 표면에 부착된 이물의 크기․모양의 검사.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
위성간 링크

연합한 위성간에서 전파신호를 차례차례로 패스해 가는 것으로, 지구상이면 어디든 목적지까지 통화를 실현할 이리듐의 독자 계획. 신호를 중도에서 지상으로 내리지 않기 때문에 전송지연을 막는 효과가 있다.

통신 용어집
오프라인 - off line

스트리트의 중심과 커프의 중심과의 차.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
오존 애싱 장치 - ozone asher

애싱처리실에 고농도의 오존을 도입하여, 오존과 레지스트를 화학반응시켜, 애싱하는 장치로 오존으로 분해된 산소원자와 레지스트가 반응하므로 하전입자의 영향이 없고, 무결함(demage free)공정이 가능하다. 보통, 질소나 질소화합물을 촉매로 첨가하여, 애싱속도를 높인다.

반/디 용어집 애싱장치 웨이퍼처리공정
입상활성탄 - granular activated carbon

야자수찌꺼기와 석탄을 원료로 하여, 0.5～1.0㎜정도의 입자상으로 된 활성탄. 골격이 다공질 미세구조이기 때문에 표면적이 크고, 흡착재로써는 뛰어난 성능을 갖는다. 또, 산화성물질을 환원하는 능력도 있다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
예열기 프리히터 - pre - heater

피측정디바이스를 고온테스트할 때, 피측정디바이스가 테스트사이트에 도달하기 전에 로터, 스토커 등으로 미리 피측정디바이스를 가열하기 위한 장치.

반/디 용어집 사공정 핸들링

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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오존 애싱 장치 - ozone asher

입상활성탄 - granular activated carbon

예열기 프리히터 - pre - heater

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