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도핑장치 - doping system

p형, n형의 불순물원자를 웨이퍼 속에 첨가하기 위한 장치. 불순물첨가의 방법으로는 열확산법, 레이저도핑법, 플라즈마도핑법 및 이온주입법 등이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
리차지법 반복인상법 - recharge CZ method multi pulling method

CZ법으로, 용융액으로부터 결정을 끌어올린 후, 원료다결정을 다시 충전(charge)하고, 용융시켜, 다시 결정을 성장시키는 공정을 여러 번 반복하는 방법.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
레지노이드연삭휠 - resinoid grinding wheel

합성고무, 천연고무 이외의 것으로, 충분한 양질의 합성수지를 결합제로 사용한 연삭연마기.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
디스펜서 - dispenser

리드프레임과 패키지에 다이를 접합하는 접합재료를 일정량 공급하는 기구.

반/디 용어집 조립공정 본딩
마이크로로딩 효과 RIE 락 - microload - ing effect

차기의 구경 또는 트렌치가 축소되어 원래 식각속도가 저하되는 현상. 많은 경우 ‘마이크로로딩 효과’와 ‘RIE 락’은 동의어로 사용되지만, 같은 크기의 패턴이 서로 다른 밀도로 존재할 때에 식각속도가 다른 현상을 마이크로로딩 효과라고 부르는 것도 있다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
드라이드에어 건조공기 - dried air

각종제조장치의 에어밸브와 실린더밸브의 구동용 및 공정용에 공급되는 건조공기. 압축기(compressor)로 가압하여 압축공기중의 오일미스트(oil mist) 및 높은 끓는점의 탄화수소 등의 불순물을, 흡착통을 이용하여 정제한 것.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
레이저본딩 - laser bonding

레이저 빛에 의해, 내측리드(inner lead) 또는 외측리드(outer lead)를 대상물에 본딩하는 방법. 주로 YAG레이저가 사용된다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
매뉴얼 스테이션 - manual station

테스트 스테이션 하나로, 피측정디바이스를 수동으로 착탈하여 시험하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
리미트값 - limit value

피측정디바이스의 측정결과에 대하여, 양․불량을 판정하는 한계값.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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자주 찾는 용어

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감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

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매뉴얼 스테이션 - manual station

리미트값 - limit value

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