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가동률 - availability

계획된 운전시간과 정상적으로 운전한 시간의 비율

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
고립결함 - isolated defect

패턴의 에지부분에서 떨어져 패턴 내에 존재하는 빔홀(beam hole)결함 및 패턴에서 떨어져 존재하는 핀스폿(pin spot)결함을 뜻함.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
논리링크

다중통신을 실행하는 네트워크에서 각각의 논리적인 통신로. TDM에서는 미디어와 상대편 별로 속도를 고정시켜 설정한다. 프레임 릴레이에서는 사전에 DLCI마다 상대편을 지정해두는 방법이 일반적이며, PVC라고 불리는 것이 많다. ATM 망에서는 VC와 VP의 2레벨의 논리링크가 설정된다. 하나의 VP에 복수의 VC를 설정하는 것도 가능하다.

통신 용어집 논리링크
관문국

관할지역내 단말기의 속성(특성)기록, 호의 설정, 요금부과를 위한 통화기록, 지상계 전화망(PSTN)과의 접속 등의 기능을 갖는다.

통신 용어집 관문국
거친 연삭 - coarse grinding

선택된 면을 거친 연삭와 정밀연삭을 할 경우, 거친 숫돌로 연삭하는 것을 말한다.

반/디 용어집 기계가공 coarse grinding
마그네트론 방전 - magnetron discharge

진공 중의 직교전자계에 있어서, 전자가 음극 위에 토로이드(toroid)운동하는 것으로 음극근처의 공간에 고밀도의 플라즈마를 발생시키는 것.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
디렉토리 - directory

하드웨어의 변경없이 사용자가 회로의 기판 상에서 기능을 임의로 추가하거나 삭제할 수 있도록 컴퓨터 내부의 기판(메인 보드나 카드 등)에 설치된 작은 스위치의 무리를 딥 스위치라고 한다. 딥 스위치는 모든 기판에 장착되어 있는 것은 아니며 제조 회사에서 회로 설계상 특정 목적을 사용자에게 부여하기 위해서 장착한다. 예를 들어 메모리 용량이 512KB인 A사의 컴퓨터와 B사의 컴퓨터가 있다고 가정하자. A사의 컴퓨터는 메모리를 확장시킬 수 있는 확장 공간과 딥 스위치가 설치되어 있으며, B사의 컴퓨터는 확장 공간과 딥 스위치가 없다. 이 때 두 컴퓨터의 메모리를 640KB로 확장시키는 방법을 비교해 보면 다음과 같다. A사의 컴퓨터는 램칩(RAM chip)을 시중에서 구입하여 확장 공간에 삽입시킨 뒤 딥 스위치를 컴퓨터의 사용설명서에 명기된 대로 조절하면 간단하고 저렴하게 메모리를 확장시킬 수 있다. 반면 B사의 컴퓨터는 램칩의 추가에 의한 메모리의 확장은 불가능하며 램칩보다 가격이 비싼 메모리 확장 카드를 별도로 구입하여 컴퓨터 내부의 비어있는 슬롯(그래픽 카드나 디스크 컨트롤러 등을 끼우는 곳)에 끼워야 한다. 그런 다음 메모리 확장카드에 장착된 딥 스위치를 컴퓨터의 기종에 맞게 조절하는 번거로운 과정을 거쳐야 한다. 이와 같이 딥 스위치는 사용자에게 대단히 중요한 역할을 제공하는 것이므로, 컴퓨터 구입시 딥 스위치의 유무 및 역할을 유심히 살펴 보아야 한다.

통신 용어집 DIP 딥 스위치
로더 - loader

워크를 원하는 위치에 올려 놓거나, 장전하는 기구

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
독성가스 - toxic gas

200ppm이하의 독성을 갖는 가스, 알신, 연소, 삼불화붕소, 디볼란, 모노실란, 불소 등이 있다.

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