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광상(光像)법 - light figure method

에칭한 면, 또는 래핑한 면에 빛의 스폿(spot)을 쏴, 이 반사광을 스크린에 비추어 볼 때, 결정축에 대응하는 한 그룹의 스폿의 수와 배열을 통해, 어느 축에 가까운 면이 나타나는가를 측정하는 방법. 또, 이 스폿의 면 그림자가 대칭이 되도록 결정을 회전시켜 어떤 면이 경사져 있는가를 알 수 있다.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
5점두께변화 - five points thickness variation

웨이퍼면애의 진정된 다섯점에서의 두께의 최대값과 최소값의 차.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
데이터압축 - data compaction data compression

일정용량의 기억매체 속에 많은 패턴 데이터를 저장하는 것. 그리고 데이터의 전송속도를 향상시키는 것을 목적으로 하는 패턴 데이터의 압축기술

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
마그네트론 스퍼터링 장치 - magnetron sputtering system

전계와 교차하는 자계를 인가하면, 음극에서 나온 전자가 토로이달(toroidal)운동을 하여, 타겟 위에 고밀도 플라즈마를 만들고, 비교적 저전압에서 스퍼터링 속도를 높일 수 있다. 페닝 마그네트론을 응용했으므로 마그네트론이라 부르며, 같은 원리의 장치로 직교전자계형 스퍼터링장치라고도 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
공정구역 - process area

청정실 배치에 있어서, 장치와 웨이퍼와의 주고받으며 운반하는 구역. 고청정환경이 요구된다. 서비스영역과는 파티션패널(partition panel)로 구분된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
동축조명 - coaxial lighting

현미경축과 조명축을 동일축으로 하고 대물렌즈를 통해 시료를 조명하여 반사광을 관측하는 조명방법

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
강유전체 박막 - ferroelectric thin film

캐패스터용으로 사용되는 PZT*1, BST*2, SBT*3 등의 박막. MOCVD법, 용액기화CVD법, 스퍼터링법, 졸겔(Sol Gel)법, 도포법 등으로 형성된다. *1 : PbxZr1-χTiO3 *2 : BaxSr1-χTiO3 *3 : SrBi2Ta2O9

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
돔형 지그 - dome jig

안쪽에 여러 개의 웨이퍼를 지지하는 돔 모양의 웨이퍼 홀더. 중심축 위에 증발원을 설치하고, 또 돔을 공전시켜 한번에 많은 웨이퍼에 균일한 막을 부착할 수 있다.

반/디 용어집 dome jig 웨이퍼처리공정
가스크로마토그래피질량분석계 GC - MS - gas chromatography mass spectrometer

가스크로마토그래피에 의해 분리된 가스를 이온화시켜, 질량분석법으로 분석하는 계기. 모노실란 등의 특수재료가스의 미량불순물에 적용시켜, ppt 레벨의 분석이 가능하다.

반/디 용어집 가스 가스크로마토그래피질량분석계 GC-MS

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

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최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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강유전체 박막 - ferroelectric thin film

돔형 지그 - dome jig

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