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러더퍼드후광산란분광법 RBS - Rutherford back - scattering method

MeV 영역의 높은 에너지이온을 시료표면에 조사하고 후광산란된 이온의 에너지스펙트럼을 측정하여, 표면에서의 깊이의 함수로써 여러 가지 원소의 농도를 결정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
다이나믹 포커스 - dynamic focusing

편향기로 전자빔을 편향할 때, 편향량이 증대되면서 초점의 위치가 광축에 수직인 평면에서 이탈하게 된다. 이런 부정합을 보정하기 위해, 편향신호의 크기에 따라 포커스를 보정하는 것.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
기류평행성 - airflow parallelism

일방향류형 청정실에 있어서, 일방향류를 형성하는 공기류의 직선성 및 평행성. 수직일방향류 청정실에서 서브라인 또는 리턴챔버내에서의 압력손실이 클 경우, 기류가 한쪽으로 흘러(편류), 일방향류를 얻을 수 없다. 일반적으로, 기류편류각은 14。이내에서 조정된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
루프높이 - loop height

2점간을 와이어로 접속할 때, 와이어는 활 모양을 그리는데, 이 때 활의 최고점과 본딩면과 면에서의 높이.

반/디 용어집 조립공정 본딩
도가니이동스트로크 - crucible lift travel

도가니의 이동가능거리. 단위는 (㎝) 또는 (㎜)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
누액센서 - liquid spill sensor

세정장치와 식각장치의 탱크․배관계에서 약액과 세정수 등이 누설되는가를 감지하는 센서. 보통, 약액이 누설되면 정전용량이 변화하여 검지하는 센서가 사용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
리드가공기 - trim and forming machine cut and bending machine

리드가공의 금형을 사용하여 밀봉한 리드프레임을 절단․성형하여 리드를 가공하는 장치. 레진, 타이바(tiebar)기는 레진컷과 타이바컷을 하는 전용장치. 리드성형(lead forming)기는 리드의 구부림성형을 하는 전용장치.

반/디 용어집 조립공정 마무리
레이저출력 안정도 - laser output stability

레이저발진기에서의 일련의 펄스출력의 첨두값(pick value)이, 일정 시간에 어느정도 변하는가를 나타내는 정도.

반/디 용어집 사공정 레이저리페어 장치
러너 - runner

몰딩성형용 금형에서 캐비티에 용융재료를 유입시키는 경로 중에서, 컬(cull)에서 게이트에 이르는 부분 및 그곳에서 굳은 재료.

반/디 용어집 패키지 조립공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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