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도큐멘테이션, 문서화 - documentation

: Desktop Management Task Force의 약자. 데스크 톱 관리용 API의 표준화를 추진하고 있는 단체. 1992년에 IBM, 인텔, 썬 마이크로소프트, 시놉틱스 커뮤니케이션즈, 디지털 이큅먼트, 노벨, 휴렛팩커드, 마이크로소프트 등 8개 사가 설립했다. 1994년 4월에는 표준 API로 DMI(Desktop Management Interface) 버전 1.0의 사양을 통합 정리했다. 현재 약 300사가 참가하고 있다.

통신 용어집 DMTF
동시 스퍼터링 장치 - co - sputtering system

서로 다른 성분원소를 가진 2개 이상의 타겟을 동시에 스퍼터링하면서, 타겟에 공급되는 전력은 각각 독립적으로 제어하여, 구성성분을 조정하여 막을 형성하는 스퍼터링장치. 두가지 이상의 원소로 이루어진 합금과 화합물의 박막을 형성하는 할 때 이용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
레지스트 안정화 시스템 - resist curing system

현상 후의 레지스트 패턴의 형상이 보다 높은 온도까지 유지되도록 하는 장치. 현상 후에 가열, 자외선조사 또는 양자의 병용(倂用)에 의해 처리한다.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정
막두께제어 - thickness control

막 성장 공정 중에 막 두께 및 증착속도를 막두께측정기(수정발진식, 원자흡광식(吸光式), 광학식 등)에 의해 모니터링하여, 증착속도를 일정하게 유지하고, 원하는 막 두께가 되도록 제어하는 것.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 진공증착장치
렌즈투영 노광장치 - lens projection aligner

투영광학계가 굴절계로 구성되어 있는 노광장치. 투영광학계에 축소광학계를 채용한 것을 레이저축소 투영노광장치, 또 투영광학계에 등배(等倍)의 투영광학계를 채용한 것을 렌즈등배 투영노광장치라고 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
로우 - row

기판 위에 배열된 다이의 수평방향의 배열

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
도가니구동기구 - crucible lift mechanism

도가니와 도가니 사이의 용융액 중량을 유지하고, 도가니의 회전과 상하이동기구를 설치한 기구. 노체 하부에 달아서 벨로튜브 등에 의해 결정성장용기와 연결하고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
딤플 - dimple

Si 웨이퍼의 외관검사에 사용되는 용어로, Si 웨이퍼표면의 미소하고 매끄럽게 패인 홈

반/디 용어집 특성용어 검사
리저버 - reservoir

레이저 CVD, FIB어시스트 방식의 결함수정장치에 사용되는 반응가스 공급 유니트.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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로우 - row

도가니구동기구 - crucible lift mechanism

딤플 - dimple

리저버 - reservoir

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