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리스프 - LISP

LISP는 1960년 미국 MIT 대학의 메카시라는 사람에 의해 개발된 프로그래밍 언어로, LISt Processing의 약자이다. 이 언어는 람다라는 대수에 근거를 두어 프로그램과 데이터를 모두 같은 형태로 표현함으로써 프로그램이 마치 데이터처럼 취급될 수 있고, 프로그램이 함수로 선언되어 필요한 작업을 수핼할 수 있다는 등의 특징을 가지고 있으며 주로 인공지능과 그 응용 분야에서 많이 사용된다.

통신 용어집 lisp 리스프
매엽식 세정장치 - single wafer processing cleaner

웨이퍼를 한 장씩 세정처리하는 방법의 장치이고, 배치식에 대응하여 매엽식이라고 한다. 세정방법에는 스프레이 등의 습식처리식과 기상세정처리식이 있다. 300㎜ 이상의 대구경 웨이퍼의 세정에 적당하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
마그네트론 - magnetron

공동공진기(cavity resonator)로써 작동하는 원통 모양의 양극과, 이 중심축 위에 설계된 가는 양극에 의해, 양극 중심축방향의 정자장(magnetostatic field)과 작용공간에의 전자와의 상호작용로 마이크로파를 발진하는 진공관.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
레티클로더 레티클 체인저 - reticle loader reticle changer

레티클 여러 장을 보관하고 있으며, 노광위치에서 왕복이동하는 기구. 보관하는 것이 마스크일 경우, 마스크로더, 마스크체인저라고 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
램프업 - ramp up

웨이퍼를 열처리반응로 안에 삽입한 후, 처리온도까지 어떤 정해진 속도로 온도를 상승시키는 것. 단위시간당 상승온도. 반대로 정해진 속도로 온도를 하강시키는 것을 쿨다운(cool down)이라고 한다.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
데이터 통신 - data communication

데이터베이스란 상호 연관된 데이터의 집합으로 어느 특정 조직의 응용 시스템들을 공동으로 사용하기 위하여 통합 저장된 운영 데이터의 집합이다. 그리고 이러한 데이터베이스를 관리하는 시스템을 DBMS(데이터베이스 관리 시스템)라 한다. 예를 들어 컴퓨터로 친구들의 주소, 성적, 취미, 특기 등에 관한 사항을 정리한다고 하자. 이를 단순한 각각의 파일로 작성한다면 수영을 같이 갈 친구를 찾을 때 일일이 친구들의 파일을 살펴 취미나 특기가 수영인 사람을 찾아야 한다. 그러므로 이 경우에는 각각의 파일이 단순하게 자료 보관 정도의 의미 밖에 가지지 못하지만, 이를 데이터베이스로 작성해 두면 '취미나 특기가 수영인 친구를 찾아라'라고 명령을 내려 수영을 좋아하는 친구들의 목록에서 수영을 갈 친구를 쉽게 찾을 수 있다.

통신 용어집 데이터베이스 database
데이터로깅 - data logging

테스터에서의 시험결과를 집계하는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
멀티노즐 - multiple nozzle

접합재료를 광범위하게 도포하기 위하여, 여러 개의 노즐을 구비한 디스펜서 노즐. 대형 다이에 적용된다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
레이즈드 플로어 - raised floor

반도체제조장치에 공급되는 전기, 가스, 물, 약품 등 및 제조장치에서 배출되는 배수, 배기 등의 배관, 덕트 등을 작업대바닥 밑에 설치할 수 있는 이중바닥구조. 이중바닥공간을 환기 플레넘챔버로써 이용하는 경우가 많다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정

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