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데이라이트 - daylight

몰딩프레스에 있어서 플래틴(platen)의 최대로 열리는 높이의 단위.

반/디 용어집 패키지 조립공정
디지털 - Digital

어떤 값을 숫자로 나타내는 일. 정보를 전기 펄스(pulse)의 유무와 그 조합의 형태로 표현하는 것으로, 정보량을 길이나 전압 등 양의 크기로 계산하는 아날로그 형식과 대조적이다. 라디오나 텔레비전에서는 정보를 아날로그로 취급하는데 반해서 컴퓨터에서는 정보를 디지털 신호로 다루고 있다. 디지털 방식은 아날로그 방식에 비해서 정보 송신 과정에서 발생하는 전송능력의 약화를 줄일 수 있다. 이 때문에 최근에는 정보전달 방법으로 디지털 방식이 채택되고 있다. 디지털은 숫자를 의미하는 말로서 디지트(digit)의 형용사다.

통신 용어집 Digital 디지털
공기봉지 - hermetic seal

반도체소자를 외부와 차단하기 위하여, 패키지 안을 완전하게 밀봉하는 것. 다이를 접속한 금속 또는 세라믹의 패키지, 불활성 가스 중에서, 덮개로 덮고 용접, 납땜, 유리봉합(glass seal) 등을 하여 밀폐시킨다.

반/디 용어집 패키지 조립공정
레지스트레이션 마스크중복정밀도 - registration mask overlay accuracy

각 공정 사이에서의 마스크 또는 레티클의 패턴 위치의 상대적 위치 오차. 묘화장치에서 마스크 또는 레티클의 패턴을 묘화시킬 때의 피치(pitch)정밀도 또는 치수정밀도에 기인한다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
도트 로깅 - dot logging

이미지센서의 점결함의 수평어드레스, 수직어드레스 및 결함상태를 수집하는 것. 이것들의 데이터를 기초로 하여, 결함 셀의 위치를 확인하거나 ROM에 의해 보상할 때에 데이터로 활용한다.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
디바이스 프로그램 번역기 - device program translator

다른 시험장치의 디바이스 프로그램을, 지금 사용하는 장치고유의 디바이스 프로그램으로 편성․변환하기 위한 소프트웨어 툴.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
레티클 - reticle

스테퍼(stepper) 또는 포토 리피터(photo repeater)에 이용되는 포토 마스크. 레티클 위에는 IC패턴 원판보다 1～10배의 패턴이 형성되어, 이것을 스테퍼로 웨이퍼 위에, 또는 포토 리피터로 포토 플레이트(photo plate) 위에 투영 (投影)노광시킨다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
다층막 미러광학계 - multilever mirror optics

두 개의 물질을 번갈아 가며 적층시켜 정밀도가 좋은 다층막미러로 구성된 광학계. X선 영역에서 높은 반사율이 얻어지고, 축소투영리소그래피에 이용된다. 파장 13nm에서, Mo와 Si의 다층막미러계에 의해 50nm의 L&S 패턴이 형성된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
데이터 패킷

패킷교환에서 데이터 처리단위. 유저정보를 저장하는 정보부와 각종 제어정보를 저장하는 헤더부로 구성된다.

통신 용어집 데이터 패킷

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레티클 - reticle

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