빛을 증폭하는 활성물질과 반사경으로 이루어지는 장치. 반사경은 리어미러와 프론트미러로 구성되며, 활성물질을 통과한 레이저빔이 두 거울에 반복해서 반사되어 증폭된다.
반/디 용어집조립공정마킹
리워크 - re - work
마킹이 잘못 되었을 때, 다시 마킹하는 것.
반/디 용어집조립공정마킹
마술거울법 - magic mirror
빛을 웨이퍼표면으로 반사하여, 미소한 왜곡 등에 의해 발생하는 표면미소변형을 굴곡분포와 함께 파악하고, 관측면에서 명함분포로 표시하는 방법. 이 때 웨이퍼의 일부에 오목한 부분이 있으면, 이 오목한 부분은 오목거울로 작용하여, 밝은 부분과 어두운 부분에서 조도(照度)변화가 생긴다. 볼록한 부분은 밝은 부분이 반전되지만, 똑같이 조도변화가 생긴다.
반/디 용어집검사표면 결함․이물검출
다이패드 아일랜드 - die pad
리드프레임 중앙부에 다이를 본딩할 목적으로 형성된 평탄부
반/디 용어집조립공정기본․공통
레지스트 온도조정 - resist temperature control
레지스트를 도포할 때, 균일성 향상을 위해, 레지스트의 온도를 제어하는 것. 설정온도는 분위기온도와 웨이퍼온도 및 레지스트 중의 용제의 특성에 의해 최적화 된다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정도포장치
디스큐 - de - skew
시간정밀도에 관한 용어로, 신호 사이에 발생하는 위상과 타이밍의 부정합을 보정하는 것.
반/디 용어집기본․공통사공정
동축원통형 플라즈마 CVD - coaxial cylindrical plasma enhanced CVD system
원통형의 외부전극 내부에 다면체(多面體)의 웨이퍼지지 전극판이 동축으로 배치된 용량결합 플라즈마CVD장치. 양전극사이에 고주파전압을 걸어주고, 저압반응가스의 플라즈마를 발생시켜 웨이퍼 위에 박막을 형성한다.
반/디 용어집CVD 장치웨이퍼처리공정
라인앤드스페이스 L&S - line and space
직선상에 패턴의 폭을 라인, 이것이 같은 간격으로 나란히 배열된 경우의 라인과 라인의 간격을 스페이스라고 부른다. 라인과 스페이스의 폭이 같은 상태에서 웨이퍼 위에 투여되는 상을 라인앤드스페이스라고 한다. 보통, 해상성능을 표시하는 척도로 사용된다.