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내부연마클린실린더 - ultra clean cylinder

전해복합연마와, 전해연마를 병용하여, 내면을 가공변질층이 없는 거울면으로 마무리하는 실린더. 미립자의 발생이 적고, 감압시의 탈가스의 발생을 억제하며, 초고순도가스를 저장할 수 있다. 또, 내면을 기계적으로 연마하여 표면정밀도를 높인 47l형 실린더도 있다.

반/디 용어집 수질분석기기 설비․환경공정
계면활성제 첨가 세정약품 - surfactant added cleaning chemical

웨이퍼 세정처리를 할 때, 흡수성의 향상과 웨이퍼 표면의 미소굴곡(micro-roughness) 증대를 억제할 목적으로 계면활성제를 첨가한 세정용 약액. 범퍼(완충)불산(불산에 불화 암모늄을 혼합한 SiO2 식각액. BHF라고 줄여서 부른다.), 암모니아수, 콜린수용액이 사용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
결함수정장치 - pattern defect repair system

기판 위에 형성된 패턴의 결합을 수정하는 장치로써, 스폿 노광장치․레이저빔수정장치․집속이온빔수정장치 등이 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
고주파유도가열법 - high frequency heating method

고주파발진기에 의해, 고주파로 변환된 전류를, 가열하려는 물질 주위에 감은 가열코일에 흘려주어, 이 코일로 만들어지는 고주파 자속에 의해 유도되는 와전류로 가열하려는 물질(저항체)를 가열하는 방법.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
가상 메모리

"virtual memory" 참조.

통신 용어집 가상 메모리
레이저마크 ID마크 - laser mark ID mark

레이저빔(Nd:YAG가 주류)를 웨이퍼 표면에 조사하여 열로 표면에 도트(구멍)을 만들어 형성된 마크(mark). 최저5(가로)×9(세로)의 도트매트릭스에서 OCR 영자 및 숫자를 인식하여 벤더(vendor)명칭, 랏(lot)번호, 특성 등의 웨이퍼식별정보(ID 마크)로 하여, 프로세스에서의 웨이퍼 트래킹, 제작관리 등에 사용된다. 도트 깊이는 절단 후에 하느냐, 폴리싱 후에 하느냐에 따라 다르다.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
대기 상태 - wait state

대기 상태라는 것은 컴퓨터가 작동중 다른 명령이나 작업을 수행하기 위하여 잠시 멈추어 있는 상태를 가리키는 것으로, 여러개의 프로그램을 한꺼번에 사용할 수 있는 다중 프로그래밍 시스템에서 CPU가 하나의 프로세스(다중 프로그래밍 시스템에서 실행되고 있는 각각의 프로그램을 프로세스라고 한다)를 실행하고 있어 다른 프로세스를 처리하지 못하고 있는 상태 또는 CPU가 필요로 하는 데이터를 주기억장치로 액세스할 때까지 아무 일도 하지 않고 기다리는 상태 등과 같은 현상을 가리키는 말이다. 이러한 대기 상태가 길어지면 컴퓨터의 효율성이 떨어지므로 다중 프로그래밍 시스템에서는 한 프로세스가 CPU를 점유하고 있는 시간을 쪼개어 여러 프로세스들을 돌아가며 처리할 수 있게 하며 CPU가 놀고 있지 않게 하기 위하여 액세스 속도가 보다 빠른 보조기억장치를 개발하기도 한다.

통신 용어집 wait state 대기 상태
디지털신호처리기 DSP - digital signal processor

디지털로 연산할 때, 디지털신호를 푸리에변환(Fourier transform)하거나, 필터로 처리할 수 있는 하드웨어. 고속으로 연산되는 부분을 어레이 프로세서(array processor)라고 한다. 혼합형검사기 등에 있어서는 A/D, D/A변환기(converter)와 조합하여, CODEC 등의 아날로그디지털(디지털아날로그) 혼합디바이스의 측정에 이용된다.

반/디 용어집 사공정 혼합형 디버그장치
공기봉입식 세정챔버 - air seal type clean draft chamber

청정공기의 다운플로우(downflow)와 외부에의 배기의 풍량에 균형을 맞춘 기기세정에 있어서, 흐름의 상부에 작은 풍량을 갖는 청정공기의 수평층 흐름을 형성하여 약품 증기를 빠르게 배출하도록 한 것. 다운플로우의 풍량을 보통의 1/3정도로 낮추어도 청정도가 유지되기 때문에, 배기풍량을 대폭 줄일 수 있고, 청정실의 에너지를 줄이는 것에도 역할을 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치

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