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데이터변환 오차 - data conversion error

원래의 패턴 데이터를 묘화장치 고유의 데이터 포맷으로 변환시킬 때, 치수가 바뀌어 소수점 이하를 버리거나, 올릴 때 발생하는 오차

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
대기시간조정기 - wait adjuster

디바이스에 신호를 인가할 때부터 측정점이 안정하게 될 때까지의 시간을 자동적으로 설정하는 기능.

반/디 용어집 사공정 디버그
내열법 - inside heating method

결정성장용 용기 안에 가열부를 넣어 가열하는 방법. 일반적으로 가열방법은 고주파유도가열 및 저항가열법이 사용된다.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
마스크블랭크제조장치 - fabrication equipment for mask blank

마스크 블랭크를 제조하기 위해, 세정․건조․박막형성․검사․레지스트 도포․베이킹(baking) 등을 행하는 장치의 총칭

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
가속률 - acceleration factor

피측정디바이스를 다른 스트레스 조건으로 시험할 경우, 동일한 고장모드로 되는데 걸리는 시간의 단축률.

반/디 용어집 사공정 에싱
경쟁적 액세스 사업자 - CAP;Compatitive Access Providers

CAP;Compatitive Access Providers의 약자. 바이패스업자라고도 한다. 도시 등 일정 지역내에서 한정된 통신 서비스를 제공하는 회사들의 속칭. 전화교환서비스는 제공하지 못하고 단지 전용서비스만 제공한다. 장거리 통신사업자의 우회회선(변동회선)을 RBOC(벨계 지역전화회사)를 대신해서 제공하면서 바이패스업자라고도 부른다. CAP(경쟁적 우회회선 제공자)라는 호칭은 미국 연방통신위원회(FCC)가 부여했다. 미국의 메트로폴리탄 파이버 시스템즈, 텔레포트 커뮤니케이션즈 그룹 등이 유명하다.

통신 용어집 경쟁적 액세스 사업자 CAP
기계적 스캔 - mechanical scan

이온빔을 고정하고, 웨이퍼를 여러 장 장착시킨 디스크를 X, Y방향으로 운동시켜 주입균일성을 얻는 주사방식. 회전디스크를, 상하가 없이, 좌우로 병진운동시키는 것이 일반적이다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
광 케이블

광통신에 쓰이는 직경 0.1mm의 가느다란 유리섬유를 통신용으로 쓸 수 있도록 외파를 입힌 것. 구리선 대비 정보전달이 1만 5천~1만 6천 배로 늘어나 음성 데이터나 동영상 등 대용량의 멀티미디어 정보를 전송하는 데 적절하다. 광케이블은 초당 전송속도를 기가비트 이상을 수용하는 광대역성과 빛의 감소량이 적어 증폭기를 달지 않아도 동선보다 훨씬 먼 거리를 보낼 수 있고 외부 잡음에 강하다.

통신 용어집 광 케이블
마랑고니 건조 - marangoni drying

린스조에서 웨이퍼를 적당한 속도로 끌어올리면서 IPA 증기를 포함하는 질소가스를 불어넣어 실온에서 건조하는 방법. 끌어올려지는 웨이퍼가 수면과 일치할 때에 만들어지는 메니스커스(meniscus, 기체액체경계면과 웨이퍼면과의 교차부에 만들어지는 만곡면부분)의 물에 IPA이 용해되면서 표면장력이 떨어져, 웨이퍼가 물에 적셔지지 않게 되는 마랑고니효과를 이용한다. IPA소비량이 적고, 워터마크가 생기지 않는 특징이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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