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다이아그램 펌프 벨로즈펌프 - diagram pump bellows pump

레지스터와 용제를 정밀, 또는 재현성이 좋게 배출하기 위하여 사용되는 공기압력(또는 모터)제어펌프. 격막형의 다이아그램 펌프와 주름형의 벨로즈 펌프의 두 종류가 대표적이며, 이차유전체 구동방식의 것도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도포장치
마무리연마 파이널 서퍼파이날 - final polishing final supper final

일차연마 후, 웨이퍼의 정밀도를 높이기 위해 헤이즈(haze, 아지랭이)를 제거하여, 완전한 거울면 웨이퍼로 끝마무리하는 공정.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
드래프트챔버 - draft chamber

가스형태의 오염물, 먼지, 수분, 열 등이 청정실로 확산되는 것을 막기 위해, 국소배기하는 구조의 발생부를 포위하는 챔버. 식각, 세정공정 등에 이용되고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
매칭모드 - pattern matching mode

초기상태를 정하지 않은 디바이스의 시험에 있어서, 초기상태설정을 위하여, 한 개 혹은 여러 개의 스텝 패턴을 반복하여 인가하여, 디바이스출력과 원하는 기대값과의 일치 여부을 검출하는 모드.

반/디 용어집 사공정 디버그
동적 전원 전류측정 - dynamic power current measure - ment

피측정디바이스에 시간적으로 변화하는 전원전류를 첨두값(peak), 과도현상(transient response) 등을 측정하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
2진화 10진법 - BCD

2진화 10진법(binary-coded decimal notation). 각각의 10진 숫자가 2진 숫자로 표현되어 있는 2진화 표기법.2진수란 두 상태의 조합, 즉 전류가 흐르는 것을 1,흐르지 않는 것을 0으로 하고 1과 0의 조합으로 정보를 표시한다. 디지털 컴퓨터에서는 10진법으로 나 타낸 수의 각 자리를 각각 4비트 이상의 2진 수치로 표현한다.

통신 용어집 BCD 2진화_10진법
다이크로익 미러 - dichroic mirror

스테퍼 등에서, 정해진 파장보다 긴 파장은 통과시키고, 짧은 파장은 반사시켜 필요한 빛만 추출하는 거울

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
램프배열 - lamp arrangement

램프가열장치는 막대모양, 공모양 등의 형태를 가진 램프를 광원으로써 이용하는데, 공정 성능을 놓이기 위해 채용하는 각종의 램프 배열방법을 말한다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
동기이동 - synchronized drive

부동대역법에 있어서 시드축 전송속도와 소재축 전송속도를 기계적 또는 전기적 제어에 의해 동일속도로 이동시키는 속도.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

다이아그램 펌프 벨로즈펌프 - diagram pump bellows pump

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2진화 10진법 - BCD

다이크로익 미러 - dichroic mirror

램프배열 - lamp arrangement

동기이동 - synchronized drive

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